混合磨料柔性抛光工具加工蓝宝石衬底技术研究

由于蓝宝石材料硬度大、脆性高和耐腐蚀,传统的铜抛和化学机械抛光方法存在着加工效率低、成本高和污染环境等缺点。本文基于固相反应原理提出了软硬混合磨料抛光蓝宝石衬底的新构想,开展了针对蓝宝石衬底的混合磨料抛光技术研究。通过理论和试验的方法研究了不同种类软磨料与蓝宝石在研抛条件下的反应活性。研究表明在摩擦力诱导的条件下,二氧化硅较氧化镁和氧化铁磨料对蓝宝石具有更高的反应活性,最易与蓝宝石发生固相化学反应生成硅酸铝盐。

混合磨料柔性抛光工具加工蓝宝石衬底技术研究

由于蓝宝石材料硬度大、脆性高和耐腐蚀,传统的铜抛和化学机械抛光方法存在着加工效率低、成本高和污染环境等缺点。本文基于固相反应原理提出了软硬混合磨料抛光蓝宝石衬底的新构想,开展了针对蓝宝石衬底的混合磨料抛光技术研究。