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空间RB-SiC反射镜的表面离子辅助镀硅改性技术 被引量:8
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作者 徐领娣 郑立功 +2 位作者 范镝 张学军 王加朋 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2497-2502,共6页
针对空间相机用反射镜RB-SiC材料由Si\SiC两相结构引起的光学表面缺陷问题,提出了表面离子辅助沉积(IAD)硅膜的改性新方案以优化RB-SiC光学表面反射率。对厚度为10±0.5μm的IAD-Si改性层的主要性能研究显示:IAD-Si膜层为非结晶结构... 针对空间相机用反射镜RB-SiC材料由Si\SiC两相结构引起的光学表面缺陷问题,提出了表面离子辅助沉积(IAD)硅膜的改性新方案以优化RB-SiC光学表面反射率。对厚度为10±0.5μm的IAD-Si改性层的主要性能研究显示:IAD-Si膜层为非结晶结构,能够提供较好的抛光表面,在77~673K的热冲击下膜层稳定性良好。以Si膜的抛光机理为依据,对IAD-Si改性层进行了大量抛光工艺实验和表面质量测试,给出了关键的抛光工艺参数和实验结果。通过表面IAD-Si改性及本文提出的改性层超精加工技术能够在反射镜表面得到面形精度RMS值优于1/20λ(λ=632.8nm)且表面粗糙度RMS值<0.5nm的超光滑表面;与改性前相比,反射镜改性层抛光表面在360~1100nm波段的反射率提高了4.5%以上。 展开更多
关键词 反应烧结碳化硅 表面改性 离子辅助沉积硅 表面反射率
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微晶材质自由曲面反射镜精密超声铣磨加工技术 被引量:12
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作者 徐领娣 房安利 +2 位作者 于建海 张继友 李昂 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第12期2564-2570,共7页
自由曲面光学元件与球面和非球面光学元件相比能够提供更高的光学设计自由度,应用于成像光学系统有利于简化系统结构和改善系统质量,在新一代空间光学遥感领域具有广阔的应用前景。为了满足离轴反射式自由曲面空间光学遥感系统的快速、... 自由曲面光学元件与球面和非球面光学元件相比能够提供更高的光学设计自由度,应用于成像光学系统有利于简化系统结构和改善系统质量,在新一代空间光学遥感领域具有广阔的应用前景。为了满足离轴反射式自由曲面空间光学遥感系统的快速、高精度研制需求,本文瞄准微晶材质、复杂连续曲面类自由曲面反射镜超声铣磨加工表面粗糙度和亚表面质量的提升目标,开展了主轴转速、切削深度、进给量等主要工艺参数的优化实验和研究,完成了300 mm口径自由曲面反射镜的建模分析和超声铣磨加工,最终铣磨加工表面的面形精度达8.89μm PV,亚表面损伤层深度低于18μm,实现了自由曲面光学反射镜的高精度、低损伤铣磨加工,能够有效降低后续研抛加工的材料去除总量,缩短整个加工周期。 展开更多
关键词 光学加工 自由曲面 超声铣磨 工艺参数优化 表面粗糙度 微晶
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反应烧结碳化硅反射镜表面改性技术 被引量:8
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作者 徐领娣 张学军 王旭 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期120-124,共5页
为了解决新型优质光学材料—反应烧结碳化硅(RB-SiC)由SiC和Si两相结构引起的光学表面缺陷问题,提出了反射镜表面改性方案并且从加工工艺的角度介绍了改性工艺流程。以空间反射镜的使用环境为依据,对几种适用的RB-SiC改性材料进行了较... 为了解决新型优质光学材料—反应烧结碳化硅(RB-SiC)由SiC和Si两相结构引起的光学表面缺陷问题,提出了反射镜表面改性方案并且从加工工艺的角度介绍了改性工艺流程。以空间反射镜的使用环境为依据,对几种适用的RB-SiC改性材料进行了较为全面的分析比较。本文采用新的离子辅助沉积碳化硅(IAD-SiC)材料为改性层,对改性层的表面形貌及部分性能进行了测试,证明IAD-SiC膜层能够满足改性要求。在厚度为(6±0.5)μm的IAD-SiC膜层表面进行了一系列抛光工艺实验,文中给出了超光滑表面抛光工艺参数和实验结果。对改性层进行精抛光后,100mm口径样片的面形精度为0.033λRMS(λ=632.8nm),表面粗糙度优于0.5nmRMS。结果表明,本方法不仅可以很大程度提高元件表面质量,还可以进一步精修面形,为超光滑、低散射RB-SiC反射镜的加工提供了一条可行途径。 展开更多
关键词 反应烧结碳化硅 表面改性 表面粗糙度 离子辅助沉积碳化硅 超光滑表面
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表面改性非球面碳化硅反射镜的加工 被引量:17
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作者 张峰 徐领娣 +2 位作者 范镝 高劲松 张学军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2479-2484,共6页
为了获得高质量光学表面的非球面碳化硅(SiC)反射镜,对碳化硅反射镜表面改性技术以及离子束辅助沉积(IBAD)Si改性后的非球面碳化硅反射镜的加工技术进行了研究。介绍了碳化硅反射镜表面改性技术以及本文所采用的离子束辅助沉积(IBAD)Si... 为了获得高质量光学表面的非球面碳化硅(SiC)反射镜,对碳化硅反射镜表面改性技术以及离子束辅助沉积(IBAD)Si改性后的非球面碳化硅反射镜的加工技术进行了研究。介绍了碳化硅反射镜表面改性技术以及本文所采用的离子束辅助沉积(IBAD)Si的改性方法。然后,采用氧化铈(CeO2)、氧化铝(Al2O3)以及二氧化硅(SiO2)等各种抛光液对离子束辅助沉积(IBAD)Si的碳化硅样片进行抛光实验。最后,在上述实验的基础上,采用计算机控制光学表面成型(CCOS)技术对尺寸为650mm×200mm的表面改性离轴非球面碳化硅反射镜进行加工。实验结果表明:CeO2抛光液的抛光效率较高;使用SiO2抛光液抛光后的样片表面质量最好;表面改性离轴非球面碳化硅反射镜加工后的最终检测结果为:实际使用口径内的面形精度(RMS值)为0.016λ(λ=0.6328μm),表面粗糙度为0.85nm(Rq值)。反射镜的加工结果满足设计技术指标的要求。 展开更多
关键词 离轴非球面 碳化硅反射镜 计算机控制光学表面成型 表面改性
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固着磨料加工碳化硅反射镜的实验 被引量:8
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作者 王旭 张学军 +2 位作者 徐领娣 裴舒 刘建卓 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期771-777,共7页
考虑固着磨料加工工艺其固着磨料与工件相对运动关系固定,有利于精确加工,提出了采用该工艺加工碳化硅反射镜的方法,利用大颗粒金刚石磨料快速加工出了较好的镜面质量。在工艺实验中,分别测得了W7,W5,W3.5,W1.5固着磨料丸片在特定转速... 考虑固着磨料加工工艺其固着磨料与工件相对运动关系固定,有利于精确加工,提出了采用该工艺加工碳化硅反射镜的方法,利用大颗粒金刚石磨料快速加工出了较好的镜面质量。在工艺实验中,分别测得了W7,W5,W3.5,W1.5固着磨料丸片在特定转速和压力下对碳化硅材料的去除特性。对多组去除量曲线的分析表明,此工艺不仅有着较高的去除率,而且稳定性良好。对表面粗糙度测量的结果表明,使用W7丸片即可获得粗糙度为42.758 nm rms的镜面。减小所用丸片的粒度,工件表面粗糙度随之减小,使用W1.5丸片抛光后,最终获得了粗糙度为1.591 nm rms的光滑镜面。实验结果表明,固着磨料加工碳化硅反射镜工艺在粗研、精研、粗抛等加工阶段内可以取代传统的散粒磨料加工工艺。 展开更多
关键词 碳化硅反射镜 固着磨料 丸片 去除率 表面粗糙度
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紫外辐射计的波长定标及不确定度分析 被引量:10
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作者 王加朋 王淑荣 +7 位作者 徐领娣 宋克非 林雪松 黄煜 汪龙祺 王锐 张振铎 李福田 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期42-47,共6页
限于常规汞灯谱线法波长定标的局限性,构建了紫外辐射计波长定标装置,研究了紫外辐射计波长定标的物理过程和测量链,并对紫外辐射计中臭氧十二个吸收波长进行了光谱定标,通过对定标影响量的分析和计算,得到定标影响量的测量不确定度和... 限于常规汞灯谱线法波长定标的局限性,构建了紫外辐射计波长定标装置,研究了紫外辐射计波长定标的物理过程和测量链,并对紫外辐射计中臭氧十二个吸收波长进行了光谱定标,通过对定标影响量的分析和计算,得到定标影响量的测量不确定度和波长定标合成标准不确定度,其中波长定标合成标准不确定度为0.026nm,同时通过光学CAD分析和实验验证紫外辐射计的光谱带宽可以达到1.0nm。应用自行构建的紫外波长定标装置较好地完成了紫外辐射计臭氧吸收谱线的定标工作,满足了臭氧反演所需的波长精度要求和光谱带宽要求。 展开更多
关键词 紫外辐射计 波长定标 定标不确定度 C—T单色仪 漫透射器
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X射线散射法测量超光滑平面
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作者 王永刚 伏瑞敏 +2 位作者 孟晓辉 徐领娣 金钊 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期3218-3222,共5页
介绍了掠入射X射线散射法(GXRS法)测量超光滑表面的原理及基于商业用X射线衍射仪改造而成的实验装置。以3片不同粗糙度的硅片作为实验样品,分别应用一级矢量微扰理论和改进的Harvey-Shack理论对其散射分布进行处理,所得结果与原子力显... 介绍了掠入射X射线散射法(GXRS法)测量超光滑表面的原理及基于商业用X射线衍射仪改造而成的实验装置。以3片不同粗糙度的硅片作为实验样品,分别应用一级矢量微扰理论和改进的Harvey-Shack理论对其散射分布进行处理,所得结果与原子力显微镜测量结果基本相符。分析了探测器接收狭缝的宽度和入射光发散度对实验结果的影响,随着探测器接收狭缝宽度和入射光发散度的减小,测量误差呈指数迅速减小。在所测量的空间频率范围内,功率谱密度(PSD)函数的误差随频率的增加而减小。 展开更多
关键词 超光滑平面 X射线散射法 一级矢量微扰理论 功率谱密度
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基于光子计数技术的超微弱星光模拟器校准技术
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作者 王加朋 孙红胜 +2 位作者 徐领娣 张博 翟思婷 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第S01期117-122,共6页
随着超微弱空间星光探测技术和星光导航技术的迅猛发展,应用于航天相机和星敏感器测试的超微弱星光的模拟器由最初的5等星发展到13等星,但是当前阶段我国仅建立了5等星以下的量值溯源链,更弱星等(大于6等星)的模拟器校准装置还处于空白... 随着超微弱空间星光探测技术和星光导航技术的迅猛发展,应用于航天相机和星敏感器测试的超微弱星光的模拟器由最初的5等星发展到13等星,但是当前阶段我国仅建立了5等星以下的量值溯源链,更弱星等(大于6等星)的模拟器校准装置还处于空白阶段,这为我国空间探测相机/星敏感器的性能评定和量值溯源带来了极大的隐患,急需开展超微弱星光模拟器的校准技术研究。针对于此,提出了一套超微弱星光模拟器星光照度现场校准的方案,采用纠缠光子法结合极弱光光谱比较方法获得光子探测器绝对光谱量子效率,研究解决光子计数非线性问题及建立高计数率条件下的非线性修正模型,通过与现有标准的衔接及延伸,在光度、辐射度的超弱光量程实现光子计数模式的测量标准,突破现有国家标准的量程瓶颈,初步建立起具有标准光源、标准探测器组以及较为完整量值传递体系,有效解决了超微弱星光模拟器的量值溯源问题。 展开更多
关键词 星光模拟器 光子计数 超微弱星光校准
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小议中小学英语的衔接教学 被引量:1
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作者 徐领娣 《科学大众(智慧教育)》 2017年第10期28-28,共1页
小学英语教学和中学英语教学在教学方法、教材选取和教学要求上都有极大的不同。如何帮助初中生尽快掌握中学英语的学习特点和学习方法,使他们能够在初中阶段打下一个扎实的英语基础,是初中英语教师要认真研究的一个重要课题。
关键词 中小学英语 教学差异 衔接教学
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