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富氮MeN_x(Me=Ti,Zr,Hf)薄膜的结构与红外光学性能
1
作者
许恒志
唐伟忠
+3 位作者
于盛旺
胡浩林
惠大圣
吕反修
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第5期785-787,792,共4页
用射频反应磁控溅射方法制备了MeNx(Me=Ti、Zr、Hf)薄膜,研究了在富N2条件下不同的N2/Ar流量比对薄膜结构和光学性能的影响。掠角X射线衍射的分析结果表明,所制得的富氮的TiNx薄膜主要由TiN所组成,而富氮的ZrNx、HfNx薄膜则具有非晶态...
用射频反应磁控溅射方法制备了MeNx(Me=Ti、Zr、Hf)薄膜,研究了在富N2条件下不同的N2/Ar流量比对薄膜结构和光学性能的影响。掠角X射线衍射的分析结果表明,所制得的富氮的TiNx薄膜主要由TiN所组成,而富氮的ZrNx、HfNx薄膜则具有非晶态的结构。用分光光度计和傅里叶红外仪对薄膜的光学透过率的测试表明,TiNx薄膜在可见光及红外波段基本上是不透的,而ZrNx、HfNx薄膜在相应的波长范围,特别是在红外波段则有较高的光学透过率。比较不同N2/Ar流量比条件下制备的MeNx(Me=Zr、Hf)薄膜发现,ZrNx、HfNx两种薄膜的结构和光学性能没有发生显著的变化。最后,在ZnS衬底上制备的HfNx薄膜,在不降低ZnS的光学透过率的情况下,显著地提高了ZnS的表面硬度。因此,HfNx薄膜有望成为红外光学窗口的一种新的保护膜材料。
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关键词
磁控溅射
红外波段
透过率
保护膜
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职称材料
题名
富氮MeN_x(Me=Ti,Zr,Hf)薄膜的结构与红外光学性能
1
作者
许恒志
唐伟忠
于盛旺
胡浩林
惠大圣
吕反修
机构
北京科技大学材料科学与工程学院
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第5期785-787,792,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(10675017)
文摘
用射频反应磁控溅射方法制备了MeNx(Me=Ti、Zr、Hf)薄膜,研究了在富N2条件下不同的N2/Ar流量比对薄膜结构和光学性能的影响。掠角X射线衍射的分析结果表明,所制得的富氮的TiNx薄膜主要由TiN所组成,而富氮的ZrNx、HfNx薄膜则具有非晶态的结构。用分光光度计和傅里叶红外仪对薄膜的光学透过率的测试表明,TiNx薄膜在可见光及红外波段基本上是不透的,而ZrNx、HfNx薄膜在相应的波长范围,特别是在红外波段则有较高的光学透过率。比较不同N2/Ar流量比条件下制备的MeNx(Me=Zr、Hf)薄膜发现,ZrNx、HfNx两种薄膜的结构和光学性能没有发生显著的变化。最后,在ZnS衬底上制备的HfNx薄膜,在不降低ZnS的光学透过率的情况下,显著地提高了ZnS的表面硬度。因此,HfNx薄膜有望成为红外光学窗口的一种新的保护膜材料。
关键词
磁控溅射
红外波段
透过率
保护膜
Keywords
magnetron sputtering
infrared regimes
transmittance
protective film
分类号
TB34 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
富氮MeN_x(Me=Ti,Zr,Hf)薄膜的结构与红外光学性能
许恒志
唐伟忠
于盛旺
胡浩林
惠大圣
吕反修
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
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