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PZT厚膜的电雾化沉积与溶胶渗透研究
1
作者
石鹏
王大志
+4 位作者
周鹏
李学木
慈元达
王骁
梁军生
《机电工程技术》
2018年第9期12-15,共4页
制备锆钛酸铅(PZT)悬浮液,采用电雾化沉积(EHDA)技术,在硅衬底上沉积PZT厚膜,研究溶胶渗透工艺对电雾化沉积PZT厚膜的致密性与电学性能的影响。结果表明:经过2C+1S溶胶渗透工艺处理的PZT厚膜致密性与电学性能得到明显提升,在50 kHz测试...
制备锆钛酸铅(PZT)悬浮液,采用电雾化沉积(EHDA)技术,在硅衬底上沉积PZT厚膜,研究溶胶渗透工艺对电雾化沉积PZT厚膜的致密性与电学性能的影响。结果表明:经过2C+1S溶胶渗透工艺处理的PZT厚膜致密性与电学性能得到明显提升,在50 kHz测试频率下厚膜的残余极化强度Pr和相对介电常数εr分别由溶胶渗透前的7.3μC·cm^(-2)和186提升为溶胶渗透后的16.1μC·cm^(-2)和400。
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关键词
PZT
厚膜
电雾化沉积
溶胶渗透
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职称材料
题名
PZT厚膜的电雾化沉积与溶胶渗透研究
1
作者
石鹏
王大志
周鹏
李学木
慈元达
王骁
梁军生
机构
大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
山东大学高效洁净机械制造教育部重点实验室
海军大连舰艇学院航海系
出处
《机电工程技术》
2018年第9期12-15,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(编号:51475081)
文摘
制备锆钛酸铅(PZT)悬浮液,采用电雾化沉积(EHDA)技术,在硅衬底上沉积PZT厚膜,研究溶胶渗透工艺对电雾化沉积PZT厚膜的致密性与电学性能的影响。结果表明:经过2C+1S溶胶渗透工艺处理的PZT厚膜致密性与电学性能得到明显提升,在50 kHz测试频率下厚膜的残余极化强度Pr和相对介电常数εr分别由溶胶渗透前的7.3μC·cm^(-2)和186提升为溶胶渗透后的16.1μC·cm^(-2)和400。
关键词
PZT
厚膜
电雾化沉积
溶胶渗透
Keywords
Pb-based lanthanum-doped zirconate fitanates (PZT)
thick films
electrohydrodynamic atomization deposition (EHDA)
sol infiltration
分类号
TM282 [一般工业技术—材料科学与工程]
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题名
作者
出处
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1
PZT厚膜的电雾化沉积与溶胶渗透研究
石鹏
王大志
周鹏
李学木
慈元达
王骁
梁军生
《机电工程技术》
2018
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