氮氩流量比对磁控溅射TiN薄膜生长织构的影响

采用直流反应磁控溅射法,通过控制氮氩流量比,在Si(111)衬底上沉积了TiN薄膜,并用织构系数来量化TiN薄膜的生长取向。对TiN薄膜的织构、物相组成、形貌进行表征,分析了溅射沉积过程中氮氩流量比对TiN薄膜生长织构的影响,同时还分析了不同织构薄膜的表面及截面形貌。结果表明:氮氩流量比低于1∶30时,薄膜的织构由(200)转变为(111),同时还出现了TiN0.61相;(111)织构的薄膜表面均匀,致密性好,粗糙度小,以氮氩流量比为1∶60时所得织构系数为1.63的(111)薄膜最好。

高职机电一体化技术专业师资队伍建设措施的研究

师资队伍建设在高职院校内涵建设中具有重要地位。我校采取多种措施深化师资队伍建设,鼓励机电一体化技术专业教师考取技能证书提升专业教师的技能素质。通过国家级省级培训提升专业教师的综合素质,鼓励专业教师承担科研课题以培养教师的研究能力;通过"老带新"提升青年教师的教学能力,在社会服务中提升教师的产学结合能力,师资队伍建设成效显著。

现代教育技术在机械试验中应用研究

随着工业时代向信息时代发展，各种新技术、新工艺等前言科技也是在历史发展过程中悄然兴起，也在逐渐改变着人们的生活。特别是信息技术以及多媒体技术的发展对于当今教育资源的改变也是前所未有的。正是基于上述历史背景下，本文主要以机械试验教学为主要研究对象，着重研究现代教育技术在当今的机械试验教学的运用状况进行深度剖析，为拓展现代教育技术在教育教学模式更为广泛应用奠定良好基础。

实践创新在机械专业改革的运用模式

当前很多高校的机械专业实践教学都采用的是传统的教学模式,无法达到培养应用型人才的目的.本文深入分析了机械工程专业在传统实践教学中存在的问题,并提出了实践教学的改革措施,包括优化实践实验教学内容,更新实践教学方法,重视学生实践动手能力和创新意识的培养.通过对机械专业多元化教学模式的研究,为高校今后的实践教学提供一定的指导.

氮气流量对反应磁控溅射TiN薄膜微结构与力学性能的影响

利用磁控溅射镀膜技术分别在硬质合金YG6X和单晶Si片表面制备TiN薄膜,分析N2流量对薄膜相组成、表面形貌、显微硬度和膜基结合力的影响。结果表明,N2流量对薄膜的微结构以及力学性能具有重要影响。随着N2流量的降低,TiN薄膜表面孔洞和台阶明显减少,表面平整度得到明显改善;薄膜的物相组成在N2流量为0.2sccm时为TiN和TiN0.61两相;N2流量的变化改变了薄膜表面的能量状态,因此,降低N2流量导致TiN薄膜的生长取向由(200)面向(111)面转变。同时,N2流量为2.4 sccm时TiN薄膜的膜基结合力最高,此时TiN薄膜也具有最高的显微硬度。