适合硅微机械系统(MEMS)的集成驱动结构──铝硅双金属膜片

双金属效应是一种基本的物理效应，这一效应在硅微机械装置上的应用，有力地弥补了硅材料不具备压电效应，电信号难以直接转换为机械驱动力的缺陷。本文将介绍我们研制的铝硅双金属膜片．膜片尺寸为4mm×4mm×（20μm单晶硅＋10μm金属铝）．实验和分析结果表明，铝硅双金属膜片具有优越的力学特性，能提供足够大的动力和位移。这种集成的单片驱动结构不仅在材料及工艺上与IC工艺完全兼容，而且通过调整有关结构参数及工艺参数，可使该结构在5伏电压下稳定工作，为实现硅微机械系统（MEMS）奠定了基础．这种驱动方式是目前制造微阀门、微流量泵等需要大动力、大位移的硅微机械及其系统的理想驱动结构．

氢氧化钾各向异性腐蚀制作近似圆形单晶硅膜的掩膜补偿技术

本文介绍我们通过掩膜图形的设计，在（１００）单晶硅上利用氢氧化钾各向异性腐蚀制作错综复杂的正八边形单晶硅膜的方法。据此技术可获得最小外接圆半径仅为腐蚀深度的２．６７倍的小尺寸正八边形单晶硅膜，其力学性能大大优于同样面积的等厚方形单晶硅膜，满足微动力机械的要求。

具有微流量检测功能的集成微流量泵驱动结构

根据我们研制成功的铝硅双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，本文介绍了一种实现微流量泵驱动结构与微流量传感器系统集成的方法。该方法在原微流量泵双金属驱动结构的单晶硅膜上集成制作了微流量传感器。这种一体化的集成驱动结构单元同时具有驱动功能和流量检测功能，并且制作工艺简单，为进一步实现与控制电路集成的集成微流量泵系统奠定了基础。

Si亚微米MESFET的Monte Carlo法模拟

本文是继用ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ法模拟ＧａＡｓ亚微米器件后，进一步用该法模拟Ｓｉ亚微米ＭＥＳＦＥＴ。文中除了处理Ｓｉ和ＧａＡｓ散射机制不同外，在模拟方法上有重要进步：用ＦＦＴ（ＦａｓｔＦｏｕｒｉｅｒＴｒａｎｓｆｏｒｍａｔｉｏｎ）代替迭代法，加速解Ｐｏｉｓｓｏｎ方程过程；用快速自散射代替常规自散射，压缩计算无用自散射时间。这些进步相当程度地克服ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ微粒模拟法费机时的固有缺点。模拟得到的形象且合理的结果，给出亚微米栅长时ＳｉＭＥＳＦＥＴ的性能。

抚顺地区黑豆栽培的品种选择和技术要领

黑豆是典型的高蛋白、低脂肪食物,含有18种氨基酸,包括人体必需的8种氨基酸;含有19种油酸,其不饱和脂肪酸含量达80%,吸收率极高;含有丰富的维生素E、花青素、异黄酮;含有丰富的微量元素如锌、铜、镁、钼、硒、氟等。黑豆具有预防动脉血管硬化、骨质疏松、便秘、抗老防衰、防止大脑老化和美容护发等多种保健功效。黑豆的食用方法较多。

适合抚顺地区栽培的绿豆品种及栽培技术

<正>经过数年的试验示范,我们筛选出适宜抚顺地区种植的绿豆品种,并结合本地实际探索出一套有机绿豆生产栽培技术。一、绿豆品种公绿1号绿豆,生育期99天;辽绿6号绿豆,生育期85天;辽绿10号绿豆,生育期85天。二、栽培技术1.选地选择土层深厚、土质疏松、保水保肥性强、肥力中等以上、远离污染源的地块种植。2.合理轮作绿豆与玉米等作物实行两年以上轮作,做到不迎茬、不重茬。3.精细整地(1)秋整地秋季前茬收获后结冻前,用除茬机将茬子打碎,进行秋翻;

抚顺单片黑木耳栽培技术

抚顺单片黑木耳耳片厚1.7毫米左右,耳轮圆整,耳小,直径45毫米左右,无根,浸泡后外形似＂碗＂状,背面绒毛短而少,暗灰色,耳面黑褐色,平滑有光感,弹性好,口感润滑,营养丰富,可称为黑木耳产品中的精品。经中科院沈阳生态研究所农产品安全与环境质量检测中心检测。

铝硅双金属驱动膜片形变方向控制及其结构参数的优化

对三种典型的铝硅双金属驱动膜片结构进行了有限元分析。结果表明，铝硅双金属驱动膜片的结构参数与驱动膜片的弯曲变形方向、中心最大挠度和有效形变体积具有紧密的联系。通过不同的结构设计可以控制驱动膜片结构的弯曲变形方向。另外，通过结构参数优化，可使驱动膜片的中心最大挠度和有效形变体积达到最大值，驱动膜片的性能得到显著提高。

微流量泵与微流量传感器的系统集成

介绍了一种实现微流量泵与微流量传感器系统集成的方法。该方法利用双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，在微泵双金属驱动单晶硅膜上集成制作微流量传感器，使驱动单元既有驱动功能又有流量检测功能，为进一步实现微流量控制系统奠定了基础。