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用热灯丝辅助化学汽相沉积法在钼基板上沉积金刚石薄膜的研究
1
作者
彭希林
廖传美
+1 位作者
陈小林
戚小微
《北京矿冶研究总院学报》
1992年第1期89-92,共4页
用热灯丝铺助化学汽相沉积(HFACVD)法,以H_2十CH_4为原料在钼基板上沉积出了金刚石膜。用扫描电镜,X射线衍射,激光Raman光谱和光荧光谱对所得金刚石膜进行了分析。实验结果表明,钼基板表面先生成了1层Mo_2C,然后,金刚石再在此Mo_2C上形...
用热灯丝铺助化学汽相沉积(HFACVD)法,以H_2十CH_4为原料在钼基板上沉积出了金刚石膜。用扫描电镜,X射线衍射,激光Raman光谱和光荧光谱对所得金刚石膜进行了分析。实验结果表明,钼基板表面先生成了1层Mo_2C,然后,金刚石再在此Mo_2C上形核生长。所沉积的金刚石膜中仍含有一定的SP^2态碳和中性空缺等缺陷。
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关键词
金刚石膜
热灯丝化学汽相沉积
拉曼光谱
钼基板
HFACVD
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职称材料
题名
用热灯丝辅助化学汽相沉积法在钼基板上沉积金刚石薄膜的研究
1
作者
彭希林
廖传美
陈小林
戚小微
机构
北京矿冶研究总院材料研究室
出处
《北京矿冶研究总院学报》
1992年第1期89-92,共4页
文摘
用热灯丝铺助化学汽相沉积(HFACVD)法,以H_2十CH_4为原料在钼基板上沉积出了金刚石膜。用扫描电镜,X射线衍射,激光Raman光谱和光荧光谱对所得金刚石膜进行了分析。实验结果表明,钼基板表面先生成了1层Mo_2C,然后,金刚石再在此Mo_2C上形核生长。所沉积的金刚石膜中仍含有一定的SP^2态碳和中性空缺等缺陷。
关键词
金刚石膜
热灯丝化学汽相沉积
拉曼光谱
钼基板
HFACVD
Keywords
Diamond thin film HFACVD Raman spectrum
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
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作者
出处
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1
用热灯丝辅助化学汽相沉积法在钼基板上沉积金刚石薄膜的研究
彭希林
廖传美
陈小林
戚小微
《北京矿冶研究总院学报》
1992
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