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高密度Si基半导体电容器的性能及其制作
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作者 王惠娟 吕垚 +1 位作者 戴丰伟 万里兮 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第6期367-371,375,共6页
随着各种混合信号电路的性能和集成度的迅速提高以及对电路模块和元器件小型化的需要,集成无源技术成为一种取代分立无源器件以达到小型化的解决方案。鉴于电容器被广泛用于滤波、调谐和电源回路退耦等各种板级集成封装中,采用Si MEMS工... 随着各种混合信号电路的性能和集成度的迅速提高以及对电路模块和元器件小型化的需要,集成无源技术成为一种取代分立无源器件以达到小型化的解决方案。鉴于电容器被广泛用于滤波、调谐和电源回路退耦等各种板级集成封装中,采用Si MEMS工艺,在半导体表面深刻蚀三维(3D)图形以增大有效表面积,制作了一种高电容密度的半导体pn结退耦电容器,并分析研究了其主要制成工艺和性能。结果显示,所制作的电容器的电容密度达8~12nF/mm2,相比无表面三维刻蚀图形的半导体电容器电容密度增大了10倍以上,退耦频率范围为10kHz~3.2GHz,可用于中低频率较大范围内的退耦。 展开更多
关键词 半导体电容 高密度电容 三维结构 退耦频率 ICP刻蚀
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渔船使用年限的一种计算方法
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作者 戴丰伟 《海洋渔业》 1983年第2期65-67,共3页
渔轮是海洋捕捞企业的主要生产工具,如何合理使用渔轮,使渔轮这一生产工具,发挥最大的经济效益,这是各捕捞企业甚为关心的问题。
关键词 企业 海洋捕捞 生产工具 渔船 使用年限 经济效益 计算方法 合理使用
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实行渔轮航次成本核算效益明显
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作者 戴丰伟 《中国水产》 1987年第11期18-18,共1页
上海市海洋渔业公司实行渔轮航次成本核算,经过一年的试行.主要渔用器材的网次单耗明显降低。1986年全年钢丝绳、钢芯绳、纤维绳、网衣网线、浮子等五种主要渔需物资实际耗用量与定额比较,下降幅度大,节约价值达76.87万元。显示了... 上海市海洋渔业公司实行渔轮航次成本核算,经过一年的试行.主要渔用器材的网次单耗明显降低。1986年全年钢丝绳、钢芯绳、纤维绳、网衣网线、浮子等五种主要渔需物资实际耗用量与定额比较,下降幅度大,节约价值达76.87万元。显示了较好的经济效益。 展开更多
关键词 实行 成本核算 降幅 公司 物资 效益 海洋渔业 试行 上海 降低
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