全自动硅料酸洗工艺技术研究

对光伏领域用硅料的一种自动酸洗工艺做了研究。对比分析了酸液配比、酸洗时间、超声清洗时间、烘干时间等几个工艺参数对硅料清洗效果的影响。结果表明:HF:HNO3的初始配比过高容易发生氧化,过低难以达到清洗要求;酸洗时间过长容易氧化,过短清洗效果不佳。