基于位移放大机构的压电快速反射镜设计

针对压电陶瓷直驱式快反镜偏转角度受到压电陶瓷伸长量较小的限制,无法实现大转角的现状,设计了一款新型压电快反镜,采用二级杠杆式放大机构实现压电陶瓷微小位移的放大,并在放大机构上粘贴电阻应变片作为反馈传感器.实验结果表明,所设计的快反镜可实现大于50 mrad的机械偏转范围,同时闭环线性度优于0.5%,能够满足大范围、高精度光束指向的需求.