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等离子法制备氮化铝粉末原料的研究
被引量:
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作者
禹争光
扬邦朝
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第z1期96-97,共2页
以金属铝粉和氮气为原料通过直流电弧等离子法制备氮化铝粉末,经羧酸与盐酸混酸在常温超声条件化学纯化后,X衍射分析表 明:制备出纯度高的氮化铝粉末;样品SEM照片显示:处理后AIN粉末粒度为2~5μm存有少量氮化铝晶须。
关键词
氮化铝
直流电弧等离子
化学纯化
氮化铝晶须
下载PDF
职称材料
题名
等离子法制备氮化铝粉末原料的研究
被引量:
2
1
作者
禹争光
扬邦朝
机构
电子科技大学微电子与固体电子学院
出处
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第z1期96-97,共2页
文摘
以金属铝粉和氮气为原料通过直流电弧等离子法制备氮化铝粉末,经羧酸与盐酸混酸在常温超声条件化学纯化后,X衍射分析表 明:制备出纯度高的氮化铝粉末;样品SEM照片显示:处理后AIN粉末粒度为2~5μm存有少量氮化铝晶须。
关键词
氮化铝
直流电弧等离子
化学纯化
氮化铝晶须
Keywords
aluminum nitride
direct current-arc plasma
chemical purity
aluminum nitride whisker
分类号
TQ174 [化学工程—陶瓷工业]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
等离子法制备氮化铝粉末原料的研究
禹争光
扬邦朝
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
2
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