报道了一种基于厚膜工艺的氢气传感器。首先采用丝网印刷工艺制作铂加热器线条,再在其上面分别覆有纳米催化剂/氧化铝形成气敏元件、涂覆纳米氧化铝构成补偿元件,最后制成氢气传感器。测试结果表明:传感器灵敏度大于21 m V/1%H2,响应时...报道了一种基于厚膜工艺的氢气传感器。首先采用丝网印刷工艺制作铂加热器线条,再在其上面分别覆有纳米催化剂/氧化铝形成气敏元件、涂覆纳米氧化铝构成补偿元件,最后制成氢气传感器。测试结果表明:传感器灵敏度大于21 m V/1%H2,响应时间小于30 s,非线性和重复性优于2%。展开更多
设计并制备了一种过渡层浆料用于解决氧化锆氧传感器工艺过程中异质材料共烧结匹配问题,过渡层浆料作为的"粘合剂"使不同材料共烧结成一体提升了传感器层间结合强度,避免了由于材料收缩应力不一致引起的加热器层间开裂、空气...设计并制备了一种过渡层浆料用于解决氧化锆氧传感器工艺过程中异质材料共烧结匹配问题,过渡层浆料作为的"粘合剂"使不同材料共烧结成一体提升了传感器层间结合强度,避免了由于材料收缩应力不一致引起的加热器层间开裂、空气腔室密闭不严等缺陷。氧传感器采用陶瓷高温共烧结(HTCC)工艺技术,经过流延、冲孔、印刷、叠片、切片、排胶、烧结工序制作而成,传感器具有响应时间短,使用寿命长的特点。设计制作的基于过渡层材料的氧化锆氧传感器经过测试,其响应时间由30ms缩短至11ms,上限输出值由280 m V提升至800 m V。展开更多
文摘设计并制备了一种过渡层浆料用于解决氧化锆氧传感器工艺过程中异质材料共烧结匹配问题,过渡层浆料作为的"粘合剂"使不同材料共烧结成一体提升了传感器层间结合强度,避免了由于材料收缩应力不一致引起的加热器层间开裂、空气腔室密闭不严等缺陷。氧传感器采用陶瓷高温共烧结(HTCC)工艺技术,经过流延、冲孔、印刷、叠片、切片、排胶、烧结工序制作而成,传感器具有响应时间短,使用寿命长的特点。设计制作的基于过渡层材料的氧化锆氧传感器经过测试,其响应时间由30ms缩短至11ms,上限输出值由280 m V提升至800 m V。