离子注入机离子束生成系统的原理及维修

介绍了离子注入机的整体结构及典型离子束生成系统的结构与工作原理。以表格的形式给出了常见的故障现象、可能原因及处理方法,对未来离子束生成系统的维修具有一定的指导作用。

基于DSP增益可控的光刻机测高电路的设计研究

介绍了激光三角法高度测量技术和基于数字信号处理器DSP与线阵CCD的激光高度测量系统。采用比例恒流源和镜像恒流源组合,设计了输出功率稳定可调的激光二极管驱动电路和线阵CCD的驱动电路,借助DSP定时器周期调节灵活的优点,方便地调节光积分时间来提高信号质量。针对光刻工艺中不同的测量对象表面的光学特征,自动进行激光二极管增益控制和光积分时间调节,提高测量的适应性和测量效率。