基于改进Stoilov算法光学元件瑕疵检测

提出一种基于统计逼近的改进Stoilov算法,可以除去光学元件检测中展开相位时遇到的奇异点和超大误差,提高测量精度。通过重构瑕疵表面3维形貌,并对规则几何形状光学元件表面进行拟合,建立光学元件瑕疵检测理论模型,可以有效对光学元件表面瑕疵进行检测。把该算法和模型运用到光学平晶瑕疵检测中,测出光学平晶的微小划痕深度为40nm。

采用三线位置敏感探测器定位模型分析光斑对定位精度的影响

在实际测量中.由于光斑具有一定尺寸和不对称性,在很大程度上影响了位置敏感探测器(PSD)的定位精度。根据激光光束高斯能连续分布的特征,建立了一种三线PSD定位模型,可以根据光斑的形状解算出该光斑特征状态下的定位误差。实验验证了该PSD定位模型的有效性。在激光三角测量法中采用该定位模型可以很好地补偿由于光斑自身不均匀性、传输过程中光斑尺寸变化以及激光与待测物体互作用产生的散斑所引入的定位误差,有效提高测量精度。实验中可以补偿的误差达到0.07 mm。

基于局域均值滤波的Stoilov改进算法

Stoilov算法中相移量的计算依赖于采集到的变形条纹图的光强,存在对光强的减法、除法和开方等运算,使相位计算时在某些位置出现分子分母为零或开方为复数等奇异现象,导致相位展开无意义或出现超大误差。从而使三维面形重构出现畸变、失真,甚至无法进行三维重构。大量实验说明这些奇异点都是孤立的点,本文提出一种基于局域均值滤波的方法对Stoilov算法进行改进,首先对奇异点进行标记,然后依次用其周围8个点中的非奇异点的平均值代替该奇异点的值。实验结果表明,该方法在考虑传感系统带来的误差的情况下,有效抑制了奇异现象,提高了三维测量精度。