高速渡轮纵向运动的控制

提出了H∞回路成形方法来设计纵摇控制系统。快速渡轮的纵摇角由位于船艏下方的T型水翼来控制。海浪的扰动是系统输出端的扰动,所以取灵敏度作为设计指标。对灵敏度的分析表明,这类纵摇系统采用PD控制时的性能是较差的。为此提出了对复数极点进行补偿的设计方案,并采用H∞回路成形设计来保证系统的稳定性和鲁棒性。设计结果用仿真进行了验证。仿真时考虑了执行机构的速率限制和行程限制。基于整船模型和海浪模型仿真计算了采用极点补偿后船舶的晕船率(motion sickness incidence,MSI)指标。设计和仿真表明,这种基于灵敏度和复数极点补偿的设计,其性能优于PD控制和完全基于定量计算的QFT(quantitative feedback theory)设计。

基于PMAC的离子注入机运动控制原理与实现

运动控制系统在离子注入机系统中起到晶元机械传输、高精度位置控制、高精度的速度控制的作用。同时,位置测量、基于位置的数据采集和工艺流程的实施,均离不开运动控制技术的有力支撑。通过对运动控制基本原理的论述,结合PMAC光纤伺服系统、硬件系统架构和组成,完成了离子注入机的运动控制系统实施方案,并重点就全闭环、晶元定向和晶元MAP等关键技术予以展开。