316L不锈钢温度相关与非比例强化的粘塑性本构模拟

高温动态应变时效影响316L不锈钢的力学行为,且材料在非比例加载条件下,表现出明显的非比例附加强化特性。基于McDowell粘塑性模型和Chaboche温度相关本构模型,将非比例度嵌入短程背应力模量与各向同性强化模型,提出了一个考虑温度相关与非比例附加强化的粘塑性本构模型,合理描述了室温及873 K下316L不锈钢在单轴、纯扭、比例及非比例加载路径的应力应变响应,得到了与试验一致的结果。

压力容器破坏预防与维护分析及相关措施简介

压力容器作为化工生产的重要设备,充分发挥其的重要作用并且避免破坏的发生,是一个重要的课题。本文论证了压力容器破坏的预防和维护的必要性,并从压力容器的破坏原理出发,总结了现今较为常见和实用维护保养压力容器的方法。

低能大束流离子注入机剂量控制系统实现

剂量控制技术是大束流离子注入机关键核心技术,剂量控制的精度将直接影响晶元的离子掺杂水平进而影响半导体器件的制造。大束流剂量控制系统由硬件和算法两部分构成,其中硬件系统包含量测系统、运动控制系统、冷却系统和注入机械部件等,而算法则包含束流数据采集、剂量控制流程和异常处理3部分的设计。其中,异常处理部分考虑了真空、束流和电压波动等因素,针对异常因素算法给出合理的异常处理方法和控制参数修正措施。

基于PMAC的离子注入机运动控制原理与实现

运动控制系统在离子注入机系统中起到晶元机械传输、高精度位置控制、高精度的速度控制的作用。同时,位置测量、基于位置的数据采集和工艺流程的实施,均离不开运动控制技术的有力支撑。通过对运动控制基本原理的论述,结合PMAC光纤伺服系统、硬件系统架构和组成,完成了离子注入机的运动控制系统实施方案,并重点就全闭环、晶元定向和晶元MAP等关键技术予以展开。