FCVA法沉积的超薄类金刚石薄膜的结构与热稳定性

采用FCVA方法沉积了厚度分别为2nm、5nm、10nm和30nm的类金刚石薄膜。在氩气保护下对类金刚石薄膜进行了180、300、400和600℃,保温6h的退火处理。用Raman光谱和宽光谱变角度椭偏仪研究了DLC薄膜的结构和热稳定性。实验结果表明,随着薄膜厚度增大,FCVA法沉积的DLC薄膜中的sp3键含量增加,薄膜热稳定性逐渐改善。当DLC薄膜的厚度为30nm时,薄膜中的sp3键含量达到最高值,薄膜具有最好的热稳定性。当退火温度为600℃时,厚度为2nm和5nm的DLC薄膜结构由非晶态转变为微晶态;厚度为10nm和30nm的DLC薄膜结构发生转变但仍保持非晶态。随着退火温度的升高,各个厚度的DLC薄膜的光学带隙Eg均先增大后减小。

热浸镀稀土铝合金抗高温氧化性能的研究

普通碳素钢经热浸镀铝、铝合金后将具有较高的耐蚀性和良好的抗高温氧化性能,为了进一步提高其耐热性,对热浸镀稀土铝合金进行了试验研究,试验数据表明,A3钢经热浸镀稀土铝合金后,不仅改变了其镀层组织形态,而且其耐热性也有明显提高.在相同条件下对1Cr18Ni9Ti奥氏体耐热不锈钢进行了抗高温氧化性能试验,试验结果表明,A3钢经热浸镀稀土铝合金后,其耐热性可与1Cr18Ni9Ti奥氏体耐热钢相比.

厚度对超薄类金刚石薄膜结构的影响

采用真空阴极磁过滤电弧法(FCVA)沉积了不同厚度的类金刚石(DLC)薄膜,用波长为514.5nm的可见光拉曼光谱(Vis-Raman)和宽光谱变角度椭偏仪分析了薄膜的结构.实验结果表明,厚度影响DLC薄膜的结构.当DLC薄膜厚度从2nm增大到30nm时,Raman图谱中的G峰位置(G-pos)向高波数方向漂移,通过高斯拟合得出的D峰和G峰的强度比ID/IG减小,消光系数(Ks)逐渐减小,薄膜中的sp3键含量随厚度的增大而增大.当薄膜厚度从30nm增大到50nm时,ID/IG增大,Ks逐渐增大,薄膜中的sp3键含量减小.