圆光栅均匀性误差研究

圆光栅均匀性误差是圆光栅质量的重要指标之一,本文详细论述了圆光栅均匀性误差,并且提出了几种减小或消除这一误差的措施。

圆光栅细分误差的动态测量

本文讨论了圆光栅细分误差及其测量,提出了不采用高精度标准件的圆光栅细分误差测量法——时间平均法,并通过实际测试结果证明了时间平均法的可行性。

测量结果不确定度的卷积合成法

对于测量结果不确定度的合成,通常采用以下几种规则: 1.以各不确定度分量的线性和作为总不确定度; 2.以各不确定度分量的方和根作为总不确定度; 3.如果各不确定度分量中,有几个不确定度分量的数值比较大,而其它的不确定度分量较小,就将几个较小的不确定度分量求方和根,再与数值较大的不确定度分量求线性和来获得总不确定度; 4.取规则1、2所得结果的某一中间数为总不确定度的表征值。上述四种规则在实际应用中,存在一定的缺陷。对于已知分布的误差采用卷积合成法是误差理论界认为最合理的不确定度合成法。