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纳米陶瓷的制备及其特性 被引量:14
1
作者 施锦行 《中国陶瓷》 CAS CSCD 北大核心 1997年第3期36-38,共3页
本文描述了纳米陶瓷的主要制备技术和某些独特的性能,并且对研究领域中出现的一些重要的问题进行了讨论。
关键词 纳米陶瓷 材料 制备 力学性能 陶瓷
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大直径CZ硅单晶的控氧技术 被引量:3
2
作者 施锦行 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1998年第6期46-49,共4页
描述了拉晶条件和磁拉法对大直径CZ硅单晶中氧的控制作用,并讨论了近期发展的CCZ法和LFCZ法中与控氧相关的问题。
关键词 大直径 硅单晶 磁拉法 控氧
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CZ硅单晶中原生缺陷的特性 被引量:3
3
作者 施锦行 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1999年第3期41-44,共4页
描述了CZ硅单晶中原生缺陷的分类、形成机理及它对相关器件性能的影响,并就其控制和消除的方法进行了讨论。
关键词 原生缺陷 缺陷控制
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21世纪的硅器件及其新工艺 被引量:1
4
作者 施锦行 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第2期8-10,共3页
描述了人工智能器件的特性,硅工艺未来发展趋势,以及全低温加工工艺对实现深亚微米(0.
关键词 硅器件 人工智能器件 四端器件 低温工艺
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氮化物半导体的制备及其应用 被引量:1
5
作者 施锦行 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1996年第3期58-61,共4页
描述了氮化物半导体生长的一般特性以及某些重要的生长技术,指出氮化物半导体在微电子器件和光电子器件中的应用前景。
关键词 氮化物 半导体 晶体生长 电子器件
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氮化铝的室温热导率 被引量:1
6
作者 施锦行 《中国陶瓷》 CAS CSCD 北大核心 1995年第5期20-21,共2页
本文导出了氮化铝室温热导率的一般表达式,对提高氮化铝陶瓷材料室温热导率的途径作了讨论。
关键词 陶瓷材料 氮化铝 热导率 室温
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GaN上的欧姆接触 被引量:2
7
作者 施锦行 《半导体情报》 1999年第5期22-25,共4页
主要描述了在n 型和p 型GaN上制备欧姆接触的方法,分析了欧姆接触的特性及其形成机理,
关键词 氮化镓 欧姆接触 接触电阻率 功函数
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GaN中杂质和缺陷的特性 被引量:2
8
作者 施锦行 《半导体情报》 1998年第1期42-44,共3页
主要描述了GaN中施主和受主杂质的能级、氢在掺杂中的作用以及空位的某些特性,同时讨论了该领域未来的研究趋向。
关键词 氮化镓 半导体 杂质 缺陷
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扩展电阻探针在硅材料研究上的应用
9
作者 李冀东 施锦行 佘思明 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1996年第6期35-37,共3页
主要描述了扩展电阻探针在确定硅片电阻率的微区分布、硅片中施主态氧沉淀的微观分布,及经氧外扩散后,硅片表面区中间隙氧分布等方面的应用。
关键词 扩展电阻探针 电阻率 氧施主
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师德、正气与育人 被引量:1
10
作者 赵凡湘 廖梅 +1 位作者 梅炽 施锦行 《有色金属高教研究》 1996年第3期45-46,共2页
师德、正气与育人中南工业大学赵凡湘,廖梅,梅炽,施锦行师德是教师的职业道德,即指教师在从事教育劳动和履行职责时,必须遵循的行为准则与规范的总和,也指教师个体的心理品德。良好的师德是教师对学生实施教育的前提,是人才成长... 师德、正气与育人中南工业大学赵凡湘,廖梅,梅炽,施锦行师德是教师的职业道德,即指教师在从事教育劳动和履行职责时,必须遵循的行为准则与规范的总和,也指教师个体的心理品德。良好的师德是教师对学生实施教育的前提,是人才成长所必需,直接影响人才成长的价值。道... 展开更多
关键词 高等教育 教师 职业道德
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A Novel Method for Measuring Flexure Strength of Brittle Materials
11
作者 谢书银 石志仪 施锦行 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 1999年第1期76-79,共4页
A novel test method to measure flexure strength for silicon slices and other brittle materials was suggested by using simple supported circular slice samples and steel ball impact loading. The maximal tensile stress e... A novel test method to measure flexure strength for silicon slices and other brittle materials was suggested by using simple supported circular slice samples and steel ball impact loading. The maximal tensile stress expression under concentrating impact load for center of simple supported circular plate was derived based on kinetic energy theorem and small deflection theory of thin plate. The instrument used in the method is simple, the test results are accurate, and the test does not need large scale loading apparatus. An experimental correct method was presented for test results deviated from small deflection limit when the slices were thinner or the strength of slice was higher. 展开更多
关键词 Brittle material Flexure strength Test method
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