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题名多晶硅副产物反歧化法合成三氯氢硅的研究进展
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作者
贺玉刚
王芳
孙强
张晓伟
付强
时庆合
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机构
洛阳中硅高科技有限公司
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出处
《化工管理》
2019年第25期69-70,共2页
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文摘
随着环境污染和能源短缺问题的加剧,各国纷纷开始新型能源的开发,多晶硅的市场需求量也随之增加,而四氯化硅和二氯二氢硅等副产物的聚集制约着多晶硅行业的发展。四氯化硅反歧化工艺是解决系统副产物聚集的有效途径。文章简述了反歧化的原理,介绍了该技术在中国多晶硅行业的应用情况及其对多晶硅企业的重大意义。
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关键词
多晶硅
四氯化硅
二氯二氢硅
三氯氢硅
反歧化
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Keywords
polycrystalline silicon
silicon tetrachloride
dichloro-dihydrosilane
trichlorosilane
comproportionation
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分类号
TQ264.1
[化学工程—有机化工]
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题名探究吸附装置安装位置对多晶硅除硼磷的影响
被引量:2
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作者
贺玉刚
王芳
孙强
张晓伟
时庆合
付强
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机构
洛阳中硅高科技有限公司
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出处
《无机盐工业》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第3期72-74,共3页
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文摘
多晶硅生产中最难去除的杂质是硼、磷。为提高吸附装置对硼、磷杂质的吸附效果,降低多晶硅原料氯硅烷中的杂质含量,提升多晶硅的品质,对吸附装置在提纯系统中安装位置的合理性进行了分析研究。对提纯系统中部分物料输送管道进行改造,使不同组分的物料进入相同结构的吸附装置进行吸附。调试吸附装置处于最佳工作状态后,对吸附后物料中硼、磷杂质含量的总和、吸附率以及吸附装置反冲洗频率进行对比分析。实验结果表明,当吸附装置安装在回收塔产品进入精馏塔的中间管道处时,吸附装置对硼、磷杂质的吸附效果最佳,且系统运行稳定。吸附装置在提纯系统中最佳安装位置的确定,提高了吸附装置对硼、磷杂质的吸附效果以及系统运行的稳定性,为多晶硅品质的提升奠定了基础。
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关键词
多晶硅
氯硅烷
硼、磷杂质
吸附
稳定性
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Keywords
polycrystalline silicon
chlorosilane
B and P impurities
adsorption
stability
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分类号
TQ127.2
[化学工程—无机化工]
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题名分离三氯氢硅中甲基二氯硅烷的研究进展
被引量:1
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作者
杨典
王芳
万烨
孙强
张征
时庆合
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机构
洛阳中硅高科技有限公司
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出处
《无机盐工业》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第3期30-33,72,共5页
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基金
河南省科技研发专项(174200510014)。
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文摘
三氯氢硅中的甲基二氯硅烷含量会严重影响多晶硅的品质,控制三氯氢硅中的甲基二氯硅烷含量对多晶硅的品质具有重要意义。重点介绍了三氯氢硅中甲基二氯硅烷的深度去除方法,包括常规精馏法、吸附法、反应精馏法和萃取精馏法。对比分析了上述方法的优缺点,其中吸附法、反应精馏法是分离甲基二氯硅烷行之有效的方法,萃取精馏法也是分离甲基二氯硅烷的重要研究方向,并对这些工艺的发展方向进行了展望。
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关键词
三氯氢硅
甲基二氯硅烷
吸附
反应精馏
萃取精馏
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Keywords
trichlorosilane
methyl dichlorosilane
adsorption
reactive distillation
extractive distillation
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分类号
TQ127.2
[化学工程—无机化工]
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