离子束刻蚀技术在SAW滤波器频率修整上的应用

随着声表面波(SAW)滤波器的应用向高频、窄带方向延伸,在制造过程中准确地控制其中心频率及一致性变得越来越困难,需要对SAW滤波器的频率进行微调。重点介绍了一种在SAW滤波器上可实现目标频率修整的离子束刻蚀修频工艺,通过实验发现刻蚀厚度不同对滤波器表面的影响程度不同,一次离子束刻蚀厚度为50 nm时,铝膜表面出现微结构变化。分析了对晶圆、器件进行离子刻蚀工艺引起热损伤的机理,表征了不同刻蚀厚度对SAW滤波器粘接芯片的剪切力和硅铝丝键合力的影响。根据实验现象及结果提出了分梯度多次刻蚀的优化方案,给出了不同刻蚀厚度的刻蚀精度,对实验结果进行拟合,得到中心频率与刻蚀厚度的关系方程,从频率、插入损耗和通带方面分析了离子束刻蚀工艺对SAW滤波器电学性能的影响。经离子束刻蚀修频后,滤波器中心频率提高2 MHz,中心频率标准差由0.4 MHz减少为0.15 MHz,中心频率的均一性由0.29%改善至0.11%,频率一致性变好。

薄膜体声波滤波器的离子束刻蚀修频工艺

薄膜体声波滤波器因设计模型与器件性能存在匹配度问题及制造过程中各工序的累计误差导致频率一致性差,严重影响了产品良率,因此实现晶圆级别的频率修整十分必要。介绍了离子束刻蚀工艺的原理、技术特点与优势,研究了刻蚀电压、刻蚀电流、刻蚀距离、Ar气体体积流量及单次刻蚀量对刻蚀效果的影响,表征了离子束刻蚀工艺对AlN钝化层厚度均一性、刻蚀精度及粗糙度的影响。探究了离子束刻蚀工艺在薄膜体声波滤波器频率修整上的应用,表征了离子束刻蚀工艺对钝化层的表面形貌及晶圆应力的影响。研究结果表明,刻蚀电压为1500 V、刻蚀电流为18 mA、刻蚀气体体积流量为4 cm^(3)/min、刻蚀距离为80 mm时,刻蚀精度高,具有一定借鉴意义;通过3轮电性能测试分析和离子束刻蚀工艺,频率标准差仅为1.23 MHz,大幅提升了薄膜体声波滤波器的频率一致性。

MWD与LWD组合技术及应用实践

80年代MWD技术和90年代LWD技术的应用与发展为钻进过程中全面监控钻井、判断油气层奠定了基础。该文较系统地阐述了MWD与LWD作为一项组合(M/LWD)技术的工作方式、地面软件系统以及在地质导向方面的应用情况,在此基础上探讨了M/LWD技术发展的特点。

DrillByte录井系统简介

该文对DrillByte综合录井系统从硬件、软件的整体配置、系统性能等方面作了介绍,对DrillByte系统的整体技术结构进行了初步的探讨。

试论创业研究的六维度模型

全文围绕我国国家层次创业,注重从主导性创业实践中汲取营养,总结梳理机会型创业成功的主要影响因素,形成以创业机会研究为导向与核心的全新创业研究六维度模型,并根据新框架提出未来我国创业活动相关对策与展望。

综合录井软件系统设计探讨

该文借鉴国内外综合录井软件的特点,结合软件开发和应用实践,从录井行业角度出发,探讨了综合录井软件系统设计开发应考虑的一些问题,提出了综合录井软件的基本设计思路,以引起技术上的争鸣,进而对提高国内综合录井软件的整体水平起到抛砖引玉的作用。

SLIM1小井眼随钻测量系统工具及应用

适应于小井眼勘探开发需要而研制的SLIM1系统在实现随钻过程中的地层对比与地质导向已成为可能,该系统的主要测量工具有伽马和电阻率。文中介绍了这两种工具的结构组成及工作原理,通过实例对其在地层对比与地质导向方面的应用进行了阐述。

前导模拟曲线精度的影响因素分析

前导模拟技术是大斜度井和水平井钻井过程中地质导向的关键技术。因而前导模拟曲线精确与否是保证成功定向的关键。该文较全面地阐述了LWD工具在大斜度井和水平井实时钻井过程中所遇到的极化角、薄层、各向异性、侵入和介电常数对前导模拟曲线精度的影响。

论创业活动的双视角三阶段六维度体系及其启示

本文通过价值理性与工具理性双视角考察创业三个发展阶段的六个维度。其中双视角的价值理性为定性变量,与价值观和心理感受相关,以最高程度满足自我价值感、幸福感为追求目标;工具理性以量化、理性计算为特征,以做事效率最大化为原则,即花费最小成果获得最大的最高效率为准绳。在笔者十几年创业研究的基础上,针对创业活动,提出了全新的三阶段六维度创业体系。第一阶段为创业直觉阶段,即初始起始阶段,该阶段受社会的当下大文化背景所影响,具体由创业者和创业机会两个维度构成;其中对于创业者的考察重点是注重其内在心理原型,对于外在存在或者可以被创业者构造出来的创业机会则重点是其业务规模的成长性,也就是其经济效益或者社会效益的规模与可操作性。第二阶段为前台谋划阶段,即前期启动阶段,该阶段由创业当前的内外部软硬条件所限制,具体由创业战略与创业文化两个维度构成;创业战略的制定及实施自始至终要考虑与社会大文化背景的协调,而创业组织内部的创业文化要自始至终服务于创业战略。第三阶段为前台执行阶段,即创业实施阶段,该阶段受创业者所掌握的资源所限,具体由领导力与执行效率两个维度构成;领导力重在公司文化方面的引导力,包括组织内部的情绪管理能力,执行力重在绩效管理,具体包括财务、HR、运营、市场营销等等方面的执行力。

MWD/LWD实践与操作指南

MWD/LWD技术的应用与发展,对提高钻井质量,尤其是水平井钻井质量,进而正确评价油气藏起到了重要作用。该文较为详尽地阐述了地面仪器配置、仪器安装注意事项、下井管串、地质和钻井环境对MWD/LWD系统的影响因素以及进行系统失败分析应考虑的各种因素。这对随钻录井工程师提高工作质量、钻井工程师实现优化钻井、地质师正确评价油气层,进而实现不同知识背景技术人员进行密切合作具有重要推动作用。

防砂作业污染分析及对策研究

目的：制定油田防砂作业污染对策，探讨油气层污染损害机理。方法：根据现场调查和相关作业的理论经验分析，探讨断块油田防砂作业污染的相关因素及其对油层的损害机理，结合室内实验和现场不同情况制定对策。并以国内第一口自己设计、自己作业的海上防砂井为例对以防砂效果研究为核心的防砂污染治理技术的室内实验和现场实践作了说明。结果：防砂后平均产量63t／d，比油田配产高出23t；累计生产120多天，累积产油7000t以上。结论：施工液的过滤可减少作业污染并有效地解决作业施工中的堵塞问题。

基于太赫兹技术的格列美脲粉尘检测研究

制药车间的药物粉尘成为当前一种新的污染源,其对从业人员的健康有着很大的危害。选用糖尿病药物格列美脲作为研究对象,通过太赫兹时域光谱(THz-TDS)技术对其纯品制成的压片进行吸收光谱测量,测量结果显示,该药物在0.1～2 THz波段有多个明显的特征吸收峰。将格列美脲生成气溶胶以模拟车间环境,为了减少水汽的影响,通过微孔滤膜干燥法和Nafion膜干燥法分别对其进行干燥处理。结果表明,与纯品压片的吸收光谱相比,两种方法都能很好地识别被测物大多数的特征吸收峰,给制药车间的药物粉尘检测提供了很好的实验参考。

乡村振兴战略视角下长治市生态农业的发展路径研究

坚持全面实施乡村振兴战略,是解决农村农业问题的关键,是实现农业农村可持续发展的基础,是农业农村工作开展中必须坚持的主线。长治市生态农业的健康发展,能够改善农业生产环境、提升农民经济收入,为长治市带来良好的经济、社会、生态效益。文章在分析了目前长治市生态农业发展中存在的多种问题,结合实际情况提出了解决对策。

T/R模块的激光封焊工艺研究

随着雷达技术的发展,微波模块正在向小型化、轻量化、高可靠性的方向发展。在实际生产过程中,T/R模块封焊盖板和壳体容易产生裂纹和气孔等缺陷,使产品的气密性不达标。文中对T/R模块常用的硅铝合金激光封焊工艺进行了试验研究,分析了峰值功率、脉宽、脉冲频率和离焦量对T/R模块焊接外观及气密性的影响,获得最优工艺参数。试验结果表明,工艺参数按照峰值功率为4.5 kW,脉宽为3.5 ms,焊接速度为2 mm/s,激光频率为15 Hz,离焦量为-1 mm时,能够获得较为优异的封焊质量,氦气漏气率优于5×10^(-6)Pa·m^(3)/s。最后总结了在生产过程中需要及时观察封焊质量来微调激光封焊的工艺参数,必要时更换新的激光保护镜片。试验结果对于指导激光封焊生产和工艺研究具有一定的意义。

实现计算机地质描述的规范化

地质描述过程中,如何将数字化信息转化为规范化数字格式面临着挑战。该文通过RockITSM地质描述系统的研制开发、应用与完善,提出地质描述过程中要实现规范化,先要实现描述术语的统一,尽量克服描述本身的主观性,并解决多种语言描述的一致性问题;描述模型开发过程中,应考虑的因素有主数据字典、用户字典及格式以及帮助界面等;在数据库结构中,要考虑数据模型设计与实现方式、数据存储与检索方式以及用户界面等;地质描述过程中,要注意已知和未知、实际与推测岩性的比较;地质描述数据输出分为图形和报告两种形式,其传输以WITS井场信息传输规范中已定义好的记录形式进行。实现地质描述过程的规范化,在于统一描述内容与术语,克服语言的限制,进而全面提高描述质量。

3_(下)303面材料巷超前沿空送巷设计与实践

为了确保3_(下)303工作面材料巷超前沿空送巷围岩稳定,通过适当加大巷道净断面积、合理确定沿空小煤柱宽度以及分区域差异化支护巷道等多方面设计举措,最终成功为3_(下)303工作面安装回采节约了2个月时间,并确保了回采过程中材料巷的整体围岩稳定,保证了回采的安全顺利进行。

断块油田防砂效果研究方法

我国的第三系出砂油层在构造特征上大多呈现多断、多阶，垒、堑相间的面貌，且由于陆相沉积地层非均质性严重，使防砂工艺必须密切结合断块油田的具体地质情况才能发挥良好的效果。文中结合断块油田的实际，分析了影响防砂效果的因素和判断依据，提出利用物理建模—数据采集—数据处理的研究方法在断块油田进行防砂效果研究，对防砂效果由定性评价转换为定量评价。

随钻测井技术在我国石油勘探开发中的应用

随钻测井技术是完成大角度井、水平井钻井设计、实时井场数据采集、解释和现场决策以及指导并完成地质导向钻井的关键技术。随钻测井技术是录测井技术、钻井技术、油藏描述等多学科的综合性技术 ,实现了在钻井的同时对钻井作业的综合评价和测井作业 ,简化了钻井作业程序 ,节省了钻机时间 ,降低了成本 ,提高了钻井作业精度 ;能实时检测到地层变化以便及时对钻井设计做必要的调整 ,使钻头最大化地在油气藏中最有价值的地带钻进 ,提高了油田的采收率 ,对于高效开发复杂油气藏具有重要意义 ,现已成为油田开发获得最大效益的至关重要手段 ;对于提高我国专业公司的竞争能力 ,争夺国际市场和随钻测井行业在我国的兴起与发展具有重要意义。结合多年生产科研实践总结了中油测井公司对引进随钻测井技术在应用方面的进展情况 。

面向地质导向应用的前导模拟技术研究

前导模拟技术属地质导向技术范畴内的核心技术之一 ,它由地层模型处理部分、沿井身轨迹曲线的随钻测井曲线正演部分、实时钻井时的实际与模拟曲线对比及反演部分组成。该文提出了在地层模型处理的基础上 ,进行仪器响应的数学归结 ,进而进行算法研究及面向地质导向应用软件实现的研究方法和思路。这对目前国内石油勘探开发行业前导模拟技术的研究具有指导意义。