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题名8英寸半导体厂房给排水系统设计工程实例分析
被引量:1
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作者
曾现磊
明金阳
张静园
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机构
宝鼎乾芯集成电路(杭州)有限公司
科技部科技评估中心
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出处
《科技创新与应用》
2023年第3期121-123,129,共4页
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基金
国家重点研发计划大气污染成因与控制技术研究重点专项(2017YFC0212902)。
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文摘
介绍半导体厂厂房给排水系统的设计要点,该系统具有涉及面广、系统相对分散且复杂的特点。并以某8英寸半导体集成电路制造生产线建设项目为例,介绍给排水系统的构成,对部分设计工艺和参数做介绍。其中超纯水采用双RO的创新性工艺设计,不但能满足车间生产需求,还大大降低工程造价成本。因此,该文认为给排水设计是工业厂房设计中非常重要的部分,采用新型工艺设计能够大大减少建设成本。
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关键词
给水系统
消防水系统
半导体
排水系统
工艺设计
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Keywords
water supply system
fire water system
semiconductor
drainage system
process design
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分类号
TU82
[建筑科学]
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题名硅基六英寸半导体厂房给排水及消防水系统设计实例
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作者
明金阳
曾现磊
张静园
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机构
宝鼎乾芯集成电路(杭州)有限公司
科技部科技评估中心
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出处
《给水排水》
CSCD
北大核心
2022年第S02期354-358,共5页
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基金
国家重点研发计划大气污染成因与控制技术研究重点专项“绿色技术评价方法及产业政策体系研究”
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文摘
以杭州某技术领先的六英寸半导体集成电路制造生产线建设项目为例,介绍了高产能六英寸半导体厂厂房给排水及消防系统的设计。该项目建设体量大、建筑物种类繁多、给排水及消防系统复杂多样。同时对部分消防设备的选取、布局、水量的计算、管材和管径的选取以及连接方式做了介绍。
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关键词
给排水系统
消防水系统
半导体
再生水回用
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Keywords
Water supply and drainage system
Fire water system
Semiconductor
Reclaimed water reuse
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分类号
TU998.1
[建筑科学—市政工程]
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题名半导体厂废水处理站化学品载药系统安全管理探讨
被引量:2
- 3
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作者
庄认生
明金阳
张静园
无
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机构
华虹半导体(无锡)有限公司
宝鼎乾芯集成电路(杭州)有限公司
科技部科技评估中心
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出处
《环境工程》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第S01期179-181,共3页
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基金
国家重点研发计划大气污染成因与控制技术研究重点专项“绿色技术评价方法及产业政策体系研究”(2017YFC0212902)
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文摘
废水处理站是半导体厂务不可缺少的组成部分,而废水处理最常用的方法是化学沉淀法,因此,在这个过程中会使用到大量的危险化学品。废水处理站一般含有废水处理系统、污泥处置系统和化学品载药系统等。化学品载药系统是半导体厂废水站系统中最关键的系统之一,本文结合半导体厂现场实际从安全管理的角度分别对化学品载药系统在厂区装卸及运输、巡查及检修、储存区的安全技术等方面进行了安全风险分析,并针对这些风险从厂区装卸及运输、巡查及检修、储存区的安全技术、应急处置、人员安全管理及信息化平台的建立等,多方面采取了相应的安全措施。同时,还创新性地提出要对化学品的采购、运输、装卸、储存、使用、废弃处置和应急处置等过程实行全周期安全过程管理,为提高半导体行业安全管理水平,降低安全事故风险开辟了新的方向。
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关键词
半导体
废水站
化学品
风险点
安全管理
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Keywords
semiconductor
wastewater station
chemical
risk points
security management
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分类号
X703
[环境科学与工程—环境工程]
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题名浅析一般半导体厂废水处理站工艺管理措施
被引量:2
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作者
张静园
明金阳
曾现磊
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机构
科技部科技评估中心
宝鼎乾芯集成电路(杭州)有限公司
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出处
《环境工程》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第S01期21-22,120,共3页
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基金
国家重点研发计划大气污染成因与控制技术研究重点专项“绿色技术评价方法及产业政策体系研究”(2017YFC0212902)
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文摘
半导体在生产过程中会产生大量废水,以半导体厂为实例,简要介绍了废水的处理流程,并从废水站管理的角度剖析了一些常见问题存在的原因,针对这些问题提出了相应的解决措施,为企业的提高管理效率,降低运营成本提供了参考。
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关键词
半导体
废水处理工艺
工艺过程管理
措施
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Keywords
semiconductor
wastewater treatment process
process management
measures
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分类号
X703
[环境科学与工程—环境工程]
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