压电效应与主动制振技术研究

介绍了压电陶瓷促动器与传感器的基本结构与特征;概括了压电堆叠结构制备工艺、主要生产厂商及应用压电陶瓷进行主动减振的发展过程与结构特征;针对应用于精密半导体设备的典型减振结构进行了压电堆叠选型与动态力计算;对减振结构单体进行了有限元建模及刚度仿真分析。

三自由度并联调平机构运动特性分析

为研究调平机构的动态特性,对三自由度并联调平机构进行了动力学特性分析。采用牛顿-欧拉方法分析了该调平机构中各支链的驱动力以及约束力矩,构建了动力学方程。以虚拟样机软件为工具,联合建立了三自由度并联调平机构的仿真模型,并进行了运动学仿真。根据结构的设计参数,通过Matlab建立数值分析模型,以分析机构运动过程中各支链的位移、速度以及驱动力的变化。通过对比运动仿真结果与Matlab数值分析结果,证明该调平机构具有良好的可操作性,且各驱动支链的速度、位移随时间变化连续、平滑、无冲击,具有良好的运动学和动力学特性。