基板二次预对准定心定向数学模型的研究

高精度的预对准分系统是设计现代光刻机需要解决的核心问题之一。在光刻机上载基板的工作过程中,需要进行多次基板对准,主要有:基板预对准、基板二次预对准、基板对准。为了建立基板二次预对准定心定向数学模型,基于基板二次预对准的工作原理,提出了计算定心定向的算法,对该算法进行了仿真分析,并根据输入输出建立了定心定向数学模型。该数学模型的建立,为提高二次预对准精度提供了依据,对实际应用有一定的指导作用。