薄膜缺陷研究进展综述

在实际镀膜过程中,镀膜腔室内不可避免地会含有微米级的颗粒、灰尘,除此之外,衬底表面在加工过程中产生的缺陷、污染,即使经过清洗处理,往往也不能完全消除,甚至会带来新的缺陷、污染。阴极靶中的杂质、气泡以及微弧放电同样会产生颗粒物,这些因素将直接导致薄膜在生长过程形成缺陷。详细综述了薄膜缺陷的形成原因、分类以及对不同应用的影响。根据形成原因、微观形貌等,可将缺陷大致分为薄片形结构、凹坑结构、结节状球形滴锥结构、针孔/气孔结构等四种类型。不同类型缺陷在薄膜中的占比受环境因素变化而改变,在空间分布也有所不同。缺陷破坏了薄膜的完整性,对薄膜性能产生较大影响,如降低了硬质薄膜的耐摩擦性,腐蚀介质可通过缺陷达到基材表面,导致耐腐蚀薄膜丧失保护功能。对于超导薄膜,当缺陷尺寸远大于copper电子对相干长度时,剩余电阻大大增加。最后,总结了气压、偏压、电压、沉积时间、衬底安装角度、镀膜室屏蔽结构等对缺陷密度的影响,也说明通过优化以上参数与结构可以降低缺陷密度,改善薄膜质量。

超高真空法兰金属密封方法

随着粒子加速器技术、航天技术的发展,对于真空的要求越来越高,进而发展而来了多种超高真空密封形式,以适应不同的工作环境。本文着重介绍当前主要应用于超高真空的金属密封方法。

浮杯泵柱塞副变形的有限元分析

浮杯泵独特的结构导致其泄漏点大量增加,变形后的柱塞副密封间隙成为影响其工作性能的主要因素。在泄漏间隙理论分析的基础上利用有限元软件对三组不同柱塞腔尺寸的柱塞和浮杯在上死点和下死点两种极端位置处进行受压变形仿真,讨论变形后柱塞腔的尺寸对柱塞副间隙的影响。分析得到柱塞和浮杯变形后的变化规律,以及在密封线处浮杯的变形值约为0.8μm和柱塞头的椭圆形变形趋势,对比得出在20 MPa的压力下直径为8 mm、深度为6 mm的柱塞腔能够使柱塞头的变形有效补偿浮杯的变形。

燃气行业安全生产及工程建设标准化的应用研究

分析标准化对企业工程建设质量的基础作用,探讨标准化与企业安全生产和综合管理的关系,结合燃气行业现状对标准化的应用进行展望。

渐开线外啮合圆柱斜齿轮流量计脉动性研究

该文分析了渐开线外啮合斜齿轮流量计出现困油现象的根本原因,并且从理论上推导出消除困油现象的重合度公式,最终得出渐开线外啮合圆柱斜齿轮流量计不发生困油现象的临界螺旋角。按照临界条件建立流量计模型,并利用PumpLinx仿真软件对渐开线外啮合圆柱直齿轮流量计和渐开线外啮合圆柱斜齿轮流量计的流量脉动进行比较,说明渐开线外啮合圆柱斜齿轮流量计在减少流量脉动性上的优越性。

液压式CNG加气站液压系统油温控制探讨

分析液压式压缩天然气(Compressed Natural Gas,CNG)加气站液压系统油温过高(升温过快)对液压式CNG加气站的影响,针对油温过高(升温过快)的原因,提出解决措施,提高液压式CNG加气站运行效率。

L-CNG加气站工艺管道系统振动分析及减振措施研究

L-CNG加气站的安全运行是企业经营考虑的首要因素,L-CNG加气站由于柱塞泵的流量脉动、空化等现象的存在,造成了L-CNG加气站工艺管道系统振动,威胁L-CNG加气站的安全运行.本文通过对柱塞泵流量脉动、空化等造成管道系统振动主要因素的理论分析,并利用有限元分析软件ANSYS Workbench对L-CNG加气站工艺管道系统进行模态振动分析,得出管道产生最大振动变形的主要位置.针对工艺管道系统振动变形,研究分析两种不同固定约束对管道振动的控制效果,提出最优的固定支撑方式,并利用定点理论,设计一种管道吸振器,达到减弱管道振动的目的.

浅析CNG母标一体站气损原因及修正措施

气损是影响CNG站点经济效益的重要因素。结合母标一体站工艺设备特点,重点从购销计量器本身的误差、压力温度、工艺流程产生损失、工艺设备自身的泄漏与缺陷、正常损耗等方面综合分析站点气损产生的原因。提出选择优质流量计、计算机辅助模拟、合理设定天然气密度值、做好设备日常维护、控制放空、排污损耗、优化工艺设备等措施,保障场站经济效益,并通过实例分析,在相关措施落实后,达到控制气损的目的。