磨粒阵列排布油石超精研结构化表面的研究

基于超精研的运动学原理,利用磨粒阵列排布油石对工件外圆表面进行超精研加工,对形成结构化表面的过程进行仿真研究,分析磨粒排布参数和研磨参数对工件结构化网纹表面形貌的影响规律。研究结果表明:当工件转速一定,油石振荡频率加快,会使交叉网纹更加紧密,单个平台面积更小,结构化平台数量增加;随着磨粒间距的逐渐增大,磨粒运动轨迹更加稀疏,单个平台面积变大,平台数量减少;当油石振幅逐渐增大时,结构化网纹表面更加紧密,研磨更加充分。