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Queensgate纳米工作台的关键技术
被引量:
1
1
作者
杨圣
曲扬铭
张丽敏
《机械设计与制造工程》
2002年第1期60-61,共2页
纳米工作台在纳米技术领域、超大规模集成电路制造和超精密工程中有着广泛的应用前景。现重点介绍Queensgate纳米工作台的关键技术 ,并对其相关的理论问题。
关键词
纳米技术
纳米工作台
超精定位技术
下载PDF
职称材料
题名
Queensgate纳米工作台的关键技术
被引量:
1
1
作者
杨圣
曲扬铭
张丽敏
机构
中国科学技术大学九系
出处
《机械设计与制造工程》
2002年第1期60-61,共2页
基金
国家自然科学基金资助项目 (5 9875 0 3 8)
文摘
纳米工作台在纳米技术领域、超大规模集成电路制造和超精密工程中有着广泛的应用前景。现重点介绍Queensgate纳米工作台的关键技术 ,并对其相关的理论问题。
关键词
纳米技术
纳米工作台
超精定位技术
Keywords
Nanotechnology
Nanometer Stage
Ultra-precise
Position
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Queensgate纳米工作台的关键技术
杨圣
曲扬铭
张丽敏
《机械设计与制造工程》
2002
1
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