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Queensgate纳米工作台的关键技术 被引量:1
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作者 杨圣 曲扬铭 张丽敏 《机械设计与制造工程》 2002年第1期60-61,共2页
纳米工作台在纳米技术领域、超大规模集成电路制造和超精密工程中有着广泛的应用前景。现重点介绍Queensgate纳米工作台的关键技术 ,并对其相关的理论问题。
关键词 纳米技术 纳米工作台 超精定位技术
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