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电弧离子镀工艺参数对CrSiN薄膜性能影响的研究
被引量:
6
1
作者
曲燕青
聂朝胤
陈志谦
《西南师范大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期52-56,共5页
利用电弧离子镀方法,在(SCM415)钢基体上制备了Cr-Si-N薄膜.通过调节Cr-Si靶中Si的比例,沉积了Si含量不同的Cr-Si-N薄膜.讨论了Si含量、偏压对薄膜硬度的影响.添加Si后得到的纳米复合薄膜Cr-Si-N的硬度比单纯的CrN薄膜有了显著的提高.采...
利用电弧离子镀方法,在(SCM415)钢基体上制备了Cr-Si-N薄膜.通过调节Cr-Si靶中Si的比例,沉积了Si含量不同的Cr-Si-N薄膜.讨论了Si含量、偏压对薄膜硬度的影响.添加Si后得到的纳米复合薄膜Cr-Si-N的硬度比单纯的CrN薄膜有了显著的提高.采用X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)对Cr-Si-N薄膜进行分析,研究讨论了Cr-Si-N薄膜的成分、结构及薄膜硬度增强的微观机制.
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关键词
电弧离子镀
Cr-Si—N薄膜
显微硬度
内部压缩应力
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职称材料
类金刚石膜的制备技术及应用领域概况
被引量:
17
2
作者
张碧云
曲燕青
+1 位作者
谢红梅
聂朝胤
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2007年第3期70-73,共4页
简要介绍了类金刚石膜的结构,综述了类金刚石膜的传统制备方法以及其制备方法的基本原理和优缺点,同时介绍了几种近年发展起来的新兴制备方法,与传统制备方法相比,它更能提高膜的沉积速率和质量。总结了类金刚石膜在机械、电子、光学、...
简要介绍了类金刚石膜的结构,综述了类金刚石膜的传统制备方法以及其制备方法的基本原理和优缺点,同时介绍了几种近年发展起来的新兴制备方法,与传统制备方法相比,它更能提高膜的沉积速率和质量。总结了类金刚石膜在机械、电子、光学、医学、航空等领域的应用状况。同时指出,随着DLC技术上的成熟,其必将在更多领域发挥越来越大的作用。
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关键词
类金刚石
薄膜
制备
应用
沉积技术
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职称材料
类金刚石薄膜的耐热性研究进展
被引量:
1
3
作者
谢红梅
聂朝胤
+1 位作者
张碧云
曲燕青
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第F11期326-327,344,共3页
类金刚石薄膜具有良好的物理化学性能、光电性能、机械性能及摩擦学性能。但是在高于400℃的温度条件下,DLC膜易向石墨结构转变,从而阻碍了其在高温条件下的应用。因此关于类金刚石薄膜耐热性的研究是目前的一个热门研究课题。在综合分...
类金刚石薄膜具有良好的物理化学性能、光电性能、机械性能及摩擦学性能。但是在高于400℃的温度条件下,DLC膜易向石墨结构转变,从而阻碍了其在高温条件下的应用。因此关于类金刚石薄膜耐热性的研究是目前的一个热门研究课题。在综合分析近年来该领域研究的基础上总结了影响DLC膜耐热性的3种因素:膜结构、掺杂、制备方法,并分析了各种因素的影响机理。
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关键词
类金刚石膜
石墨
耐热性
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职称材料
题名
电弧离子镀工艺参数对CrSiN薄膜性能影响的研究
被引量:
6
1
作者
曲燕青
聂朝胤
陈志谦
机构
西南大学材料科学与工程学院
出处
《西南师范大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期52-56,共5页
基金
西南大学发展基金资助项目(SWNUF2005001)
文摘
利用电弧离子镀方法,在(SCM415)钢基体上制备了Cr-Si-N薄膜.通过调节Cr-Si靶中Si的比例,沉积了Si含量不同的Cr-Si-N薄膜.讨论了Si含量、偏压对薄膜硬度的影响.添加Si后得到的纳米复合薄膜Cr-Si-N的硬度比单纯的CrN薄膜有了显著的提高.采用X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)对Cr-Si-N薄膜进行分析,研究讨论了Cr-Si-N薄膜的成分、结构及薄膜硬度增强的微观机制.
关键词
电弧离子镀
Cr-Si—N薄膜
显微硬度
内部压缩应力
Keywords
arc ion plating Cr Si-N coating hardness compress slress
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
类金刚石膜的制备技术及应用领域概况
被引量:
17
2
作者
张碧云
曲燕青
谢红梅
聂朝胤
机构
西南大学材料科学与工程学院
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2007年第3期70-73,共4页
基金
重庆市自然科学基金(CSTC
2006BB4050)
校发展基金(SWNUF2005001)
文摘
简要介绍了类金刚石膜的结构,综述了类金刚石膜的传统制备方法以及其制备方法的基本原理和优缺点,同时介绍了几种近年发展起来的新兴制备方法,与传统制备方法相比,它更能提高膜的沉积速率和质量。总结了类金刚石膜在机械、电子、光学、医学、航空等领域的应用状况。同时指出,随着DLC技术上的成熟,其必将在更多领域发挥越来越大的作用。
关键词
类金刚石
薄膜
制备
应用
沉积技术
Keywords
DLC
Film
Preparation
Application
Deposition process
分类号
TQ153 [化学工程—电化学工业]
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职称材料
题名
类金刚石薄膜的耐热性研究进展
被引量:
1
3
作者
谢红梅
聂朝胤
张碧云
曲燕青
机构
西南大学材料科学与工程学院
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第F11期326-327,344,共3页
基金
重庆市自然科学基金(2006BB4050)
西南大学科技基金(SWNUF2005001)
文摘
类金刚石薄膜具有良好的物理化学性能、光电性能、机械性能及摩擦学性能。但是在高于400℃的温度条件下,DLC膜易向石墨结构转变,从而阻碍了其在高温条件下的应用。因此关于类金刚石薄膜耐热性的研究是目前的一个热门研究课题。在综合分析近年来该领域研究的基础上总结了影响DLC膜耐热性的3种因素:膜结构、掺杂、制备方法,并分析了各种因素的影响机理。
关键词
类金刚石膜
石墨
耐热性
Keywords
DLC films, graphite, thermal stability
分类号
TQ424.25 [化学工程]
TN304.18 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电弧离子镀工艺参数对CrSiN薄膜性能影响的研究
曲燕青
聂朝胤
陈志谦
《西南师范大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2006
6
下载PDF
职称材料
2
类金刚石膜的制备技术及应用领域概况
张碧云
曲燕青
谢红梅
聂朝胤
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2007
17
下载PDF
职称材料
3
类金刚石薄膜的耐热性研究进展
谢红梅
聂朝胤
张碧云
曲燕青
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
1
下载PDF
职称材料
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