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可循迹纳米台阶标准样版的制备与表征
被引量:
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作者
曲金成
雷李华
+5 位作者
李锁印
蔡潇雨
魏佳斯
赵军
韩志国
李源
《微纳电子技术》
北大核心
2017年第12期840-846,共7页
介绍了纳米几何量量值传递中纳米标准样版的计量与溯源特性。分析了微纳米测量仪器在纳米标准样版几何参量校准中对标准样版循迹结构的具体需求。设计了标准值为60 nm,具有可循迹结构的纳米台阶标准样版。为了实现高精度、溯源性表征,...
介绍了纳米几何量量值传递中纳米标准样版的计量与溯源特性。分析了微纳米测量仪器在纳米标准样版几何参量校准中对标准样版循迹结构的具体需求。设计了标准值为60 nm,具有可循迹结构的纳米台阶标准样版。为了实现高精度、溯源性表征,基于计量型纳米测量仪(NMM),结合多种定位测量方法,对加工的纳米台阶标准样版进行测量与评价,并对其开展区域均匀性和长时间稳定性实验。实验结果表明,制备的台阶标准样版高度值与设计值基本一致,设计的循迹结构能有效地协助电荷耦合器件(CCD)实现快速循迹与定位,且采用溅射镀膜工艺优化了标准样版表面结构的特性,使多种定位测量方法的测量重复性标准偏差均小于1 nm。
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关键词
量值传递
刻蚀工艺
标准样版
纳米测量仪(NMM)
溅射镀膜工艺
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职称材料
浅谈学生数学应用意识的培养
被引量:
6
2
作者
黄官桥
曲金成
《中国校外教育(中旬)》
2012年第6期117-117,共1页
近年来,数学中考题中把联系实际的应用问题作为命题的一个重要内容,那么,我们在教学中应该树立"数学来源于实际,又应用于实际"的数学意识,将数学与数学应用有机地结合起来。这是社会经济发展的需要,是中考命题的一个新趋势,...
近年来,数学中考题中把联系实际的应用问题作为命题的一个重要内容,那么,我们在教学中应该树立"数学来源于实际,又应用于实际"的数学意识,将数学与数学应用有机地结合起来。这是社会经济发展的需要,是中考命题的一个新趋势,也是课堂教学转变教育观念、实施素质教育的有效途径。
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关键词
中考命题
数学应用
课堂教学
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职称材料
题名
可循迹纳米台阶标准样版的制备与表征
被引量:
6
1
作者
曲金成
雷李华
李锁印
蔡潇雨
魏佳斯
赵军
韩志国
李源
机构
中国计量大学
上海市计量测试技术研究院
中国电子科技集团公司第十三研究所
出处
《微纳电子技术》
北大核心
2017年第12期840-846,共7页
基金
国家重大仪器专项资助项目(2014YQ090709)
文摘
介绍了纳米几何量量值传递中纳米标准样版的计量与溯源特性。分析了微纳米测量仪器在纳米标准样版几何参量校准中对标准样版循迹结构的具体需求。设计了标准值为60 nm,具有可循迹结构的纳米台阶标准样版。为了实现高精度、溯源性表征,基于计量型纳米测量仪(NMM),结合多种定位测量方法,对加工的纳米台阶标准样版进行测量与评价,并对其开展区域均匀性和长时间稳定性实验。实验结果表明,制备的台阶标准样版高度值与设计值基本一致,设计的循迹结构能有效地协助电荷耦合器件(CCD)实现快速循迹与定位,且采用溅射镀膜工艺优化了标准样版表面结构的特性,使多种定位测量方法的测量重复性标准偏差均小于1 nm。
关键词
量值传递
刻蚀工艺
标准样版
纳米测量仪(NMM)
溅射镀膜工艺
Keywords
value transfer
etching process
standard template
nano measuring machine (NMM)
sputtering coating process
分类号
TN307 [电子电信—物理电子学]
TB921 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
浅谈学生数学应用意识的培养
被引量:
6
2
作者
黄官桥
曲金成
机构
山东省潍坊昌邑市围子街道陶埠小学
出处
《中国校外教育(中旬)》
2012年第6期117-117,共1页
文摘
近年来,数学中考题中把联系实际的应用问题作为命题的一个重要内容,那么,我们在教学中应该树立"数学来源于实际,又应用于实际"的数学意识,将数学与数学应用有机地结合起来。这是社会经济发展的需要,是中考命题的一个新趋势,也是课堂教学转变教育观念、实施素质教育的有效途径。
关键词
中考命题
数学应用
课堂教学
分类号
G633.6 [文化科学—教育学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
可循迹纳米台阶标准样版的制备与表征
曲金成
雷李华
李锁印
蔡潇雨
魏佳斯
赵军
韩志国
李源
《微纳电子技术》
北大核心
2017
6
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职称材料
2
浅谈学生数学应用意识的培养
黄官桥
曲金成
《中国校外教育(中旬)》
2012
6
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职称材料
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