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高介电氧化钽薄膜制备与介电性能分析
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作者 曲铭浩 胡跃辉 +2 位作者 冯景华 谢耀江 王立富 《陶瓷学报》 CAS 北大核心 2009年第2期182-185,共4页
在较低衬底温度下,通过磁控溅射得到的非晶态Ta2O5薄膜,在氧气氛750℃条件下进行化学热退火,得到晶化的Ta2O5薄膜,其相对介电常数为34.3,漏电流密度小于10-7A/cm2。电容量测试时,为了较好地消除高温退火时产生的SiO2的介质层对电容测试... 在较低衬底温度下,通过磁控溅射得到的非晶态Ta2O5薄膜,在氧气氛750℃条件下进行化学热退火,得到晶化的Ta2O5薄膜,其相对介电常数为34.3,漏电流密度小于10-7A/cm2。电容量测试时,为了较好地消除高温退火时产生的SiO2的介质层对电容测试值的影响,用不同厚度氧化钽薄膜为介质层做成金属-绝缘体-金属(MIM)结构的电容器,对这些电容器的电容测试数据,进行Sigmoidal拟合,得到极限电容,从而计算出Ta2O5薄膜的介电常数。 展开更多
关键词 氧化钽薄膜 介电常数 漏电流密度
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Pr^(3+),Yb^(3+)共掺YPO_4下转换材料的制备及其转光效率 被引量:5
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作者 李开宇 王如志 +2 位作者 曲铭浩 张影 严辉 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期486-491,共6页
采用固相反应法制备了Pr3+,Yb3+共掺杂的YPO4下转换发光粉体,并在450 nm光激发条件下,研究了Yb3+不同摩尔分数(0%,1%,2%,4%,20%,30%)对转光效率的影响。结果表明:不同Yb3+浓度的样品,其荧光峰强度不同,这可能是由于Pr3+-Yb3+之间Yb3+浓... 采用固相反应法制备了Pr3+,Yb3+共掺杂的YPO4下转换发光粉体,并在450 nm光激发条件下,研究了Yb3+不同摩尔分数(0%,1%,2%,4%,20%,30%)对转光效率的影响。结果表明:不同Yb3+浓度的样品,其荧光峰强度不同,这可能是由于Pr3+-Yb3+之间Yb3+浓度不同存在能量传递效率差异的原因。研究也发现了样品的下转换发光,其能量传递过程为:Pr3+:3P0→Yb3+:2F5/2+2F5/2。荧光光谱测试结果表明,Yb3+的最佳掺杂摩尔分数为2%。Pr3+,Yb3+共掺杂的YPO4材料在提高太阳能电池光电转换效率方面具有潜在的应用。 展开更多
关键词 下转换 稀土离子 YPO4 太阳能电池
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Er:YbF_3转光薄膜的制备及衬底温度对其光学性能的影响 被引量:1
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作者 张影 王如志 +4 位作者 王祥夫 曲铭浩 李开宇 颜晓红 严辉 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第9期979-984,共6页
采用脉冲激光沉积(PLD)方法在Si(100)衬底上成功制备了具有上下转换的Er∶YbF3转光薄膜。研究发现,所制备的Er∶YbF3转光薄膜实现了上下转换两种机制的结合,能有效地把紫外光和红外光转换到非晶硅太阳能电池最佳响应范围内的656 nm处。... 采用脉冲激光沉积(PLD)方法在Si(100)衬底上成功制备了具有上下转换的Er∶YbF3转光薄膜。研究发现,所制备的Er∶YbF3转光薄膜实现了上下转换两种机制的结合,能有效地把紫外光和红外光转换到非晶硅太阳能电池最佳响应范围内的656 nm处。进一步分析了衬底温度对薄膜相结构及光学性能影响的物理机制。当衬底温度高于500℃时,薄膜会随着温度的升高而结晶性变强,但有杂相生成。研究结果表明,Er∶YbF3转光薄膜的光学性能在衬底温度为500℃时最佳,有望应用到非晶硅太阳能电池上使其光电效率提高。 展开更多
关键词 太阳能电池 上转换 下转换 Er∶YbF3薄膜 衬底温度
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用HW-MWECRCVD系统沉积大面积均匀氢化非晶硅薄膜的研究
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作者 王立富 胡跃辉 +3 位作者 张祥文 陈光华 曲铭浩 谢耀江 《陶瓷学报》 CAS 北大核心 2009年第2期171-177,共7页
通过紫外-可见透射谱技术,计算得到薄膜各个位置的拟合厚度值,研究了a-Si∶H薄膜的厚度均匀性;通过对紫外-可见透射谱的分析和对红外吸收谱峰宽度的分析,研究了a-Si∶H薄膜的结构均匀性。研究发现对于单磁场线圈MWECRCVD系统,ECR区的不... 通过紫外-可见透射谱技术,计算得到薄膜各个位置的拟合厚度值,研究了a-Si∶H薄膜的厚度均匀性;通过对紫外-可见透射谱的分析和对红外吸收谱峰宽度的分析,研究了a-Si∶H薄膜的结构均匀性。研究发现对于单磁场线圈MWECRCVD系统,ECR区的不均匀性和沉积室的磁场梯度的不均匀,是影响a-Si∶H薄膜均匀性的主要原因。通过改进矩形耦合波导和热丝辅助及减小磁场线圈电流的方法,采用HW-MWECRCVD系统,在直径为6cm的衬底上沉积了厚度不均匀性<3.5%的a-Si∶H薄膜。 展开更多
关键词 HW—MWECR沉积系统 均匀性 氢化非晶硅薄膜
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硅氧合金薄膜及其在高效纳米硅薄膜叠层太阳电池中的应用研究 被引量:1
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作者 俞凤至 胡安红 +6 位作者 郁操 曲铭浩 汪涛 张铭 严辉 张津岩 徐希翔 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第8期1918-1924,共7页
系统研究两种不同形态的硅氧合金薄膜,用甚高频PECVD系统制备的非晶硅氧和纳米硅氧薄膜的特性,以及其在纳米硅薄膜叠层薄膜太阳电池中的应用。实验中主要通过对不同的气体流量比的优化、沉积功率和沉积压力的优化,分别制备出光学带隙约... 系统研究两种不同形态的硅氧合金薄膜,用甚高频PECVD系统制备的非晶硅氧和纳米硅氧薄膜的特性,以及其在纳米硅薄膜叠层薄膜太阳电池中的应用。实验中主要通过对不同的气体流量比的优化、沉积功率和沉积压力的优化,分别制备出光学带隙约为2.1 e V,折射率约为3的a-SiO_x∶B∶H薄膜,作为非晶硅顶电池的p1层,以及带隙为2.2~2.5 e V,折射率为2.0~2.5,晶化率为20%~50%的nc-SiO_x∶P∶H薄膜,作为非晶硅/纳米硅叠层电池的中间反射层和纳米硅的底电池n2层。最后将优化后的a-SiO_x∶B∶H和nc-SiO_x∶P∶H薄膜应用到非晶硅/纳米硅薄膜叠层电池中,在0.79 m^2的玻璃基板上制备出初始峰值功率为101.1 W、全面积初始转换效率为12.8%、稳定峰值功率为87.3 W、全面积稳定转换效率为11.1%的非晶硅/纳米硅叠层电池。 展开更多
关键词 太阳电池 非晶硅/纳米硅叠层电池 硅氧合金薄膜 p层非晶硅氧薄膜 n层纳米硅氧薄膜
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大面积纳米硅基薄膜太阳电池及制造设备的开发 被引量:1
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作者 蓝仕虎 赵辉 +10 位作者 杨娜 曲铭浩 胡安红 张迎春 赵颖 张晓丹 汪涛 樊正海 王建强 张津岩 徐希翔 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期1268-1273,共6页
该文工作主要集中在用于制备非晶硅和纳米硅薄膜太阳电池的多腔室、大面积等离子体沉积系统的研发。在制备工艺方面,系统研究沉积压力、电极间距、射频电源功率等参数对薄膜沉积速率、膜厚的非均匀性、晶化率的影响;在硬件设计方面,对... 该文工作主要集中在用于制备非晶硅和纳米硅薄膜太阳电池的多腔室、大面积等离子体沉积系统的研发。在制备工艺方面,系统研究沉积压力、电极间距、射频电源功率等参数对薄膜沉积速率、膜厚的非均匀性、晶化率的影响;在硬件设计方面,对不同弦高气盒,密封结构气盒和非密封结构气盒进行系统比较,研究对薄膜的非均匀性、沉积速率的影响。通过工艺参数及硬件优化,最终得到沉积速率接近5?/s、晶化率约为60%、晶化率及膜厚的非均匀性均小于10%的纳米硅薄膜。以此膜层制备技术为基础,在1.1 m×1.4 m面积的透明导电玻璃基板上制备出初始功率为154.97 W(全面积转换效率10.1%)的非晶硅/纳米硅双结叠层太阳电池。 展开更多
关键词 薄膜太阳电池 纳米硅薄膜 大面积均匀性 高沉积速率 气盒
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氢等离子体处理钝化层对高效晶硅异质结太阳电池性能的影响
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作者 刘欢 由甲川 +3 位作者 赵雷 王文静 曲铭浩 徐希翔 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第7期140-144,共5页
研究不同时间氢等离子体处理(HPT)氢化非晶硅a-Si:H(i)钝化层对高效晶硅异质结太阳电池(效率>23%)性能的影响。发现适当时间的HPT可改善钝化效果提升电池性能,但过长时间的HPT可导致薄膜钝化效果变差,有效少数载流子寿命降低。分析认... 研究不同时间氢等离子体处理(HPT)氢化非晶硅a-Si:H(i)钝化层对高效晶硅异质结太阳电池(效率>23%)性能的影响。发现适当时间的HPT可改善钝化效果提升电池性能,但过长时间的HPT可导致薄膜钝化效果变差,有效少数载流子寿命降低。分析认为HPT时间过长,H原子进入到a-Si:H(i)薄膜层中,导致薄膜内部SiH2增多,微结构因子(R)增大,薄膜质量变差。并且,适当时间的HPT改善太阳电池性能的幅度有限,而过长时间的HPT导致电池性能下降却很明显。因此,针对高效率的晶硅异质结太阳电池,应对钝化层沉积之后的HPT工艺进行谨慎控制。 展开更多
关键词 晶硅异质结 太阳电池 PECVD 氢等离子体处理 钝化
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基于高雾度BZO前电极的高效率非晶硅/纳米硅叠层电池的制备 被引量:1
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作者 彭长涛 张津岩 +8 位作者 胡安红 曲铭浩 王全良 蒋奇拯 郁操 汝小宁 王建强 汪涛 徐希翔 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期2175-2180,共6页
利用自行设计开发的LPCVD设备和BZO生长工艺制备BZO导电玻璃,并用自行研发的工艺在其上制备非晶硅/纳米硅叠层电池,同时用相近工艺在商用FTO导电玻璃上制备电池,对两者进行比较。实验发现:在工业化生产可接受的条件下,自行开发BZO前电... 利用自行设计开发的LPCVD设备和BZO生长工艺制备BZO导电玻璃,并用自行研发的工艺在其上制备非晶硅/纳米硅叠层电池,同时用相近工艺在商用FTO导电玻璃上制备电池,对两者进行比较。实验发现:在工业化生产可接受的条件下,自行开发BZO前电极电池的QE总电流密度可比高质量商用FTO前电极电池高约1mA/cm2;通过自行研发的工艺技术,成功解决BZO前电极+非晶硅/纳米硅叠层+银背电极结构电池的开路电压和填充因子过低的问题,所制备的BZO前电极电池初始效率最高可达12.2%。 展开更多
关键词 硅基薄膜电池 纳米硅 掺硼氧化锌 陷光 LPCVD 量子效率
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Simulation analysis of the effects of a back surface field on a p-a-Si:H/n-c-Si/n+-a-Si:H heterojunction solar cell
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作者 胡跃辉 张祥文 +3 位作者 曲铭浩 王立富 曾涛 谢耀江 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期68-71,共4页
In order to investigate the effects of a back surface field(BSF) on the performance of a p-doped amor-phous silicon(p-a-Si:H)/n-doped crystalline silicon(n-c-Si) solar cell,a heterojunction solar cell with a p-a-Si:H/... In order to investigate the effects of a back surface field(BSF) on the performance of a p-doped amor-phous silicon(p-a-Si:H)/n-doped crystalline silicon(n-c-Si) solar cell,a heterojunction solar cell with a p-a-Si:H/n-c-Si/n+-a-Si:H structure was designed.An n+-a-Si:H film was deposited on the back of an n-c-Si wafer as the BSF.The photovoltaic performance of p-a-Si:H/n-c-Si/n+-a-Si:H solar cells were simulated.It was shown that the BSF of the p-a-Si:H/n-c-Si/n+-a-Si:H solar cells could effectively inhibit the decrease of the cell performance caused by interface states. 展开更多
关键词 太阳能电池 纳米硅 异质结 Si 仿真分析 背面 刺激因子 光电性能
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