反应磁控溅射制备氮化钽扩散阻挡层的研究

采用反应磁控溅射在硅衬底上制备了TaN薄膜,研究了氮分压、溅射功率及衬底温度对薄膜晶体结构、表面形貌和电学性能的影响。结果表明,晶体结构随工艺参数的改变发生变化,GIXRD图谱衍射峰强度随溅射功率和衬底温度的增加而增强,氮气分压的增加使择优取向向(111)晶面偏移;TaN薄膜的表面形貌与溅射功率和氮气分压密切相关,与衬底温度的关系不大,其粗糙度随溅射功率的增加而增大,随氮气分压的增加而减小;TaN薄膜的方块电阻随溅射功率的增加逐渐减小,随氮气分压的增加逐渐增大,温度对方块电阻的影响不大;对Cu/TaN/Si互联体系热处理后发现TaN薄膜具有优异的阻挡性能,在600℃时依然可有效阻止Cu向Si的扩散。

浅谈我国油田消防安全管理意识和措施

随着我国经济社会的快速发展,油田的快速开采,该领域的消防安全隐患也逐渐凸显出来,事故的发生也让油田消防安全多次成为关注的焦点,本文将基于目前油田所出现的一些安全隐患、安全事故,并分析我国目前油田消防安全的管理情况,最后结合前人的一些相关研究来进行讨论和研究,希望能够为油田消防安全的高效管理提供一些帮助。

铁腕不懈除黑车

天津火车站是天津市最大的客流集散地，是天津市的窗口，历来是道路客运经营者的激烈竞争之地。一些有营运资格的业户不按规定站点经营，在站区内随意停车，强行揽客。旅游包车经营者超范围经营，在站区内攒客。一些不法分子违规经营，雇用人员在站区内强行用小车揽客后“卖客”。如不同意，旅客就会被辱骂甚至挨打。个别经营者招揽旅客上车后，擅自提高票价，有的还中途甩客，严重侵害了广大旅客的权益，导致旅客投诉时有发生。