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复合式热屏对Φ200mmCZSi单晶生长速率和氧含量的影响 被引量：6
1
作者 任丙彦 赵龙 +2 位作者 傅洪波 曹中谦 张学强 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1764-1767,共4页
对Φ200mm太阳能CZSi单晶生长的传统热场进行了改进,施加了复合式热屏.对改进前后热场温度梯度、单晶氧含量进行了实验分析,并对该系统的氩气流场进行了数值模拟.研究了复合式热屏影响拉速和单晶氧含量的机理.实验表明本文采用的复合式... 对Φ200mm太阳能CZSi单晶生长的传统热场进行了改进,施加了复合式热屏.对改进前后热场温度梯度、单晶氧含量进行了实验分析,并对该系统的氩气流场进行了数值模拟.研究了复合式热屏影响拉速和单晶氧含量的机理.实验表明本文采用的复合式热屏和氩气流场可以提高拉速,降低硅单晶氧含量. 展开更多
关键词 热屏 氧含量 温度梯度 拉速
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