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题名基于纳米裂纹的MEMS二维风速风向传感器
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作者
杨少琪
张弛
曹书野
朱一柯
孙鹏
刘军山
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机构
大连理工大学机械工程学院辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
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出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023年第10期1619-1625,共7页
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基金
国家重点研发计划项目(2020YFB2008502)
国家自然科学基金(51875083)。
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文摘
风速、风向信号的采集在工业、医疗与气象等领域具有重要意义。研发了一种基于纳米裂纹的微电子机械系统(MEMS)二维风速风向传感器。利用纳米裂纹超高灵敏度的优点,设计了纤毛-悬臂梁结构用于风速、风向信号采集。通过有限元数值仿真分析确定传感器的纤毛直径、高度和悬臂梁长度等结构参数。然后,采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)衬底制备、聚酰亚胺粘附、金薄膜沉积、金薄膜图案化以及纳米裂纹工艺流程制备了纳米裂纹金薄膜。采用该纳米裂纹金薄膜,利用MEMS工艺技术制作了基于纳米裂纹的MEMS二维风速风向传感器,并通过自主研制的测试平台测试了传感器的风速和风向性能。实验结果表明,制备的二维风速风向传感器能够稳定测量2~7 m/s的风速信号,并具有误差不超过15°的风向识别能力。
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关键词
风速风向传感器
微电子机械系统(MEMS)
纳米裂纹
图案化
有限元仿真
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Keywords
wind speed and direction sensor
micro-electromechanical system(MEMS)
nanocrack
patterning
finite element simulation
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH703
[机械工程—精密仪器及机械]
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题名中国历史上第一座叫“京”的城市
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作者
曹书野
陆恺甜(翻译)
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机构
不详
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出处
《孔子学院(中西文对照版)》
2022年第4期28-31,共4页
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文摘
在西安市西咸新区沣河岸边,风景优美、山水相映,有一个名叫“诗经里”的小镇,顾名思义,这座小镇致敬的是中国最早的诗歌总集——《诗经》。《诗经》是中国现实主义诗歌的开端,在中国文学史上具有崇高的地位和深远的影响。而孕育《诗经》的,是三千多年前的西周王朝。
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关键词
中国文学史
《诗经》
诗歌总集
西周王朝
现实主义诗歌
风景优美
诗经
西咸新区
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分类号
I20
[文学—中国文学]
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