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基于隧道效应的nm级三维轮廓仪的研究 被引量：7
1
作者 张鸿海 曹传 +1 位作者 师汉民 陈日曜 《华中理工大学学报》 CSCD 北大核心 1996年第4期4-7,共4页
介绍两种不同结构形式的基于电子隧道效应的ｎｍ级三维轮廓仪．其纵向分辨率可达００２ｎｍ，横向分辨率可达０２ｎｍ，扫描范围分别达到４０μｍ×４０μｍ和１４０μｍ×１４０μｍ．可直接对φ５０ｍｍ和φ１３０ｍｍ的... 介绍两种不同结构形式的基于电子隧道效应的ｎｍ级三维轮廓仪．其纵向分辨率可达００２ｎｍ，横向分辨率可达０２ｎｍ，扫描范围分别达到４０μｍ×４０μｍ和１４０μｍ×１４０μｍ．可直接对φ５０ｍｍ和φ１３０ｍｍ的大尺寸样品表面进行ｎｍ级的超微观形貌检测与分析． 展开更多
关键词 超精密测量 nm级形貌 隧道效应 三维轮廓仪
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