超声喷雾热解法制备Mg_xZn_(1-x)O薄膜及其性能研究

采用超声喷雾热解法在石英玻璃衬底上生长出不同组分的宽禁带Mg_xZn_(1-x)O薄膜(x=0、0.08、0.16、0.25)。通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和分光光度计等分析测试手段对Mg_xZn_(1-x)O薄膜的晶体结构、透光性及禁带宽度进行了研究。结果表明,随着Mg含量的增加,Mg_xZn_(1-x)O薄膜仍然保持着ZnO的纤锌矿结构,没有生成MgO相,Mg可以有效地溶入ZnO的晶格中。Mg_xZn_(1-x)O薄膜具有良好的透光性,在可见波段的光透过率达85%以上;此外,随着Mg含量的增加,Mg_xZn_(1-x)O薄膜的吸收边出现蓝移现象,禁带宽度从3.30eV增大到3.54eV。