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PECVD制备六方金刚石结构碳氢薄膜 被引量:1
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作者 曹忠跃 张斌 +1 位作者 魏利 张俊彦 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期55-59,共5页
利用等离子体增强化学气相沉积技术(PECVD)在单晶硅(100)表面上制备了一层含有六方金刚石结构的碳氢薄膜。采用透射电子显微镜和拉曼光谱仪对薄膜结构进行表征;并用Nano-indenterⅡ型纳米压痕仪和CSM—摩擦磨损试验机对薄膜的力学性能... 利用等离子体增强化学气相沉积技术(PECVD)在单晶硅(100)表面上制备了一层含有六方金刚石结构的碳氢薄膜。采用透射电子显微镜和拉曼光谱仪对薄膜结构进行表征;并用Nano-indenterⅡ型纳米压痕仪和CSM—摩擦磨损试验机对薄膜的力学性能和摩擦学性能进行了测试。结果表明:该碳氢薄膜含有六方金刚石结构,另外还含有少量的纳米弯曲石墨片段;与制备的类金刚石碳氢薄膜相比,该薄膜具有较好的力学性能,同时该薄膜在空气环境下表现出了较好的摩擦学性能。 展开更多
关键词 等离子增强化学气相沉积 碳氢薄膜 六方金刚石 摩擦性能
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氟含量对类金刚石薄膜结构及摩擦学性能的影响 被引量:6
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作者 魏利 张斌 +1 位作者 曹忠跃 张俊彦 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期66-71,共6页
采用直流等离子体沉积的方法制备了具有不同氟含量的类金刚石薄膜。并利用多功能X射线光电子能谱仪(XPS)、拉曼光谱仪、纳米压痕仪、应力测试仪和摩擦磨损试验机等手段分析和研究了含氟类金刚石薄膜的结构、力学性能以及摩擦学性能,并... 采用直流等离子体沉积的方法制备了具有不同氟含量的类金刚石薄膜。并利用多功能X射线光电子能谱仪(XPS)、拉曼光谱仪、纳米压痕仪、应力测试仪和摩擦磨损试验机等手段分析和研究了含氟类金刚石薄膜的结构、力学性能以及摩擦学性能,并利用场发射扫描电镜(SEM)观察了薄膜断面形貌。结果表明:所制备薄膜的力学性能和摩擦学性能均受到薄膜中氟含量的影响,当F含量(原子数分数)为5.92%时,薄膜显示了优异的力学性能及摩擦学性能,硬度值高达21GPa,压应力低至0.75GPa,摩擦因数为0.013,磨损率为9×10-19 m3/(N.m)。 展开更多
关键词 氟化类金刚石 等离子体沉积 摩擦性能
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运动黏度在FLC薄膜-白油固液复合润滑体系中的作用 被引量:2
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作者 汪佳 王富国 +1 位作者 曹忠跃 张俊彦 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期438-444,共7页
利用直流等离子体沉积技术制备了含氢类富勒烯碳膜(FLC),在工业级白油润滑条件下考察了FLC薄膜润湿性、摩擦学特性和白油运动黏度对整个固液复合润滑体系的影响。研究结果表明:在5~150 mm^2/s的考察范围内,白油的运动黏度越小,其对FLC... 利用直流等离子体沉积技术制备了含氢类富勒烯碳膜(FLC),在工业级白油润滑条件下考察了FLC薄膜润湿性、摩擦学特性和白油运动黏度对整个固液复合润滑体系的影响。研究结果表明:在5~150 mm^2/s的考察范围内,白油的运动黏度越小,其对FLC薄膜的润湿性越好;随着运动黏度的增大,白油分子量增加且分子链变长,在薄膜表面油膜吸附增强,油膜厚度增加,FLC薄膜摩擦系数逐渐减小,于32 mm^2/s时达到最小值(0.114),随着黏度进一步增大,过高的运动黏度增加了黏性阻力和摩擦阻力,FLC薄膜摩擦系数反而上升;同时,FLC薄膜的磨损率随黏度增大而减小,当黏度超过26 mm^2/s之后,变化幅度趋缓。 展开更多
关键词 FLC薄膜 白油 运动黏度 润湿 摩擦 磨损
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构建班级“家校教育共同体”,培养农村初中学生人际交往的行动研究
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作者 曹忠跃 《好日子》 2021年第9期70-70,共1页
家校合作的教育方式是社会发展的一个新趋势,随着农村生活质量的提高,对于初中学生的教育也提出了更高的要求,家长逐渐的开始意识到,让学生能够更好的发展,提高学生的人际交往能力是学校和家长共同的责任,需要学校和家长相互配合。本文... 家校合作的教育方式是社会发展的一个新趋势,随着农村生活质量的提高,对于初中学生的教育也提出了更高的要求,家长逐渐的开始意识到,让学生能够更好的发展,提高学生的人际交往能力是学校和家长共同的责任,需要学校和家长相互配合。本文主要从家校教育对培养初中学生人际交往存在的问题以及针对问题提出的策略进行总结,为提高初中学生人际交往能力提供一定的借鉴,帮助实现农村教育的可持续性发展。 展开更多
关键词 家校教育 初中学生 人际交往
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