基于响应曲面法的304不锈钢化学机械抛光工艺参数优化

采用响应曲面法,以材料去除率RMRR和表面粗糙度Ra为评价指标,研究抛光过程中抛光盘转速、压力、时间等3种参数对RMRR和Ra的影响。根据抛光试验结果,建立材料去除率和表面粗糙度的回归模型,得出其响应曲面和等高线图,并进行详细分析。结果表明:回归模型较显著,证明了响应曲面法预测及优化304不锈钢化学机械抛光工艺参数的可行性及可靠性;据此得出Ra和RMRR优化后的最佳工艺参数;Ra和RMRR的试验值与预测值比较,相对误差在±10%以内,表明响应曲面得到的模型精度高,可用于化学机械抛光工艺参数优化与结果预测。