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透明导电氧化物薄膜研究进展 被引量:12
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作者 望咏林 颜悦 +2 位作者 沈玫 贺会权 张官理 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第F05期317-320,共4页
综述了透明导电氧化物(TCO)薄膜的应用和发展,重点阐述了TCO薄膜的透明导电机理以及制备工艺的最新研究进展,同时对其研究和应用前景进行了展望。
关键词 氧化物薄膜 透明导电机理 制备工艺 ITO AZO
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辅助离子束功率密度对透明塑料上室温磁控溅射沉积ITO薄膜结构和形貌的影响 被引量:2
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作者 望咏林 颜悦 +2 位作者 温培刚 伍建华 张官理 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期1-4,共4页
基于双极脉冲磁控溅射复合离子束辅助沉积的新工艺,在透明塑料聚碳酸酯基片上,常温制备了透明导电的铟锡氧化物(ITO)薄膜。重点研究了不同辅助离子束功率密度对ITO薄膜晶体结构和表面形貌的影响。结果表明:当离子束功率密度从52mW/cm2... 基于双极脉冲磁控溅射复合离子束辅助沉积的新工艺,在透明塑料聚碳酸酯基片上,常温制备了透明导电的铟锡氧化物(ITO)薄膜。重点研究了不同辅助离子束功率密度对ITO薄膜晶体结构和表面形貌的影响。结果表明:当离子束功率密度从52mW/cm2逐渐增加到436mW/cm2时,薄膜逐渐从非晶态转变为微晶态、直至长大为多晶态,晶体呈现(222)择优取向;薄膜在非晶态时表面相对平坦,随着晶粒的长大,表面均方根粗糙度Rq增加,并在离子束功率密度为436mW/cm2时最大。离子束功率密度进一步增大到680mW/cm2时,薄膜的晶体衍射峰强度变弱、峰的半高宽变大,表明晶粒尺寸变小;薄膜表面均方根粗糙度下降。离子束功率密度为252mW/cm2,ITO薄膜具有最佳综合光电性能. 展开更多
关键词 铟锡氧化物薄膜 室温制备 离子束辅助磁控溅射 结构与形貌 透明塑料衬底
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离子束辅助磁控溅射低温沉积ITO透明导电薄膜的研究 被引量:3
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作者 望咏林 颜悦 +3 位作者 沈玫 贺会权 纪建超 张官理 《真空》 CAS 北大核心 2006年第4期7-9,共3页
本文对离子束辅助磁控溅射低温沉积的ITO薄膜进行了研究,重点考察了辅助离子束能量对ITO薄膜的光电性能和晶体结构的影响。结果表明:当A r/O2辅助离子束能量为900 eV左右时能够有效改善ITO薄膜的光电性能,在从非晶到多晶的转变过程中IT... 本文对离子束辅助磁控溅射低温沉积的ITO薄膜进行了研究,重点考察了辅助离子束能量对ITO薄膜的光电性能和晶体结构的影响。结果表明:当A r/O2辅助离子束能量为900 eV左右时能够有效改善ITO薄膜的光电性能,在从非晶到多晶的转变过程中ITO薄膜具有较低的电阻率。在聚碳酸酯(PC)基片上制备了平均可见光透过率81.0%、电阻率为5.668×10-4ohm cm、结构致密且附着力良好的ITO薄膜,基片无变形。 展开更多
关键词 低温沉积 离子束辅助沉积 磁控溅射 ITO 透明导电薄膜
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辅助离子束对中频孪生磁控反应溅射制备氧化钛光学薄膜的影响
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作者 望咏林 颜悦 +2 位作者 伍建华 温培刚 张晓锋 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期514-519,共6页
本文利用孪生靶50 kHz中频磁控反应溅射的方法,在多孔阳极层离子束源产生的低温离子束辅助条件下制备了光学性能良好的氧化钛薄膜。利用原子力显微镜、分光光度计、椭圆偏振光谱仪研究了离子束功率以及退火温度对氧化钛薄膜形貌、光学... 本文利用孪生靶50 kHz中频磁控反应溅射的方法,在多孔阳极层离子束源产生的低温离子束辅助条件下制备了光学性能良好的氧化钛薄膜。利用原子力显微镜、分光光度计、椭圆偏振光谱仪研究了离子束功率以及退火温度对氧化钛薄膜形貌、光学折射率和消光系数、孔隙率等的影响。结果表明:利用中频孪生磁控溅射的方法将沉积工艺控制在反应过渡区,可以有效的抑制钛靶中毒和阳极消失,反应溅射过程稳定;辅助离子束提高了等离子体的电荷密度;氧化钛薄膜堆积密度和光学折射率也有所提高,薄膜表面趋于平坦,孔隙率降低。氧化钛薄膜在高温退火处理时由于出现从非晶到多晶转变以及晶体长大与转变,结构逐渐趋于完整,表面粗糙度不断增加;800℃时完全转化为金红石相,晶粒直径约70 nm。 展开更多
关键词 氧化钛薄膜磁控反应溅射 中频孪生离子束辅助沉积
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透明导电氧化物薄膜材料研究进展 被引量:35
5
作者 刘宏燕 颜悦 +3 位作者 望咏林 伍建华 张官理 厉蕾 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期63-82,共20页
透明导电氧化物薄膜被广泛应用于太阳能电池、平板显示器以及透明视窗等制备中,成为不可或缺的一类薄膜。综述透明导电氧化物薄膜的发展现状和发展趋势,阐述透明导电氧化物薄膜的导电机理和载流子散射机制,系统概括出材料体系选择原则... 透明导电氧化物薄膜被广泛应用于太阳能电池、平板显示器以及透明视窗等制备中,成为不可或缺的一类薄膜。综述透明导电氧化物薄膜的发展现状和发展趋势,阐述透明导电氧化物薄膜的导电机理和载流子散射机制,系统概括出材料体系选择原则。化学计量比的氧化物是不导电的,通过在薄膜中引入缺陷,包括氧空位、间隙原子或者外来杂质等,在禁带中形成缺陷能级,从而改变氧化物薄膜的导电性能,形成透明导电氧化物。根据掺杂离子的不同,即受主掺杂离子和施主掺杂离子,透明导电氧化物包括N型和P型半导体两种。在这种由于缺陷的引入而导电的透明氧化物薄膜中,载流子散射主要包括晶界散射、声子散射、杂质离子散射和孪晶界散射四种,其中晶界散射和杂质离子散射占主导。进一步地,重点介绍In2O3、SnO2和ZnO基掺杂透明导电氧化物薄膜的基本性能及应用。In2O3基透明导电氧化物由于其在制备低电阻率薄膜和半导体加工方面的优势,成为制作透明电极的主要材料,而SnO2和ZnO基透明导电氧化物由于成本低廉,在未来替代In2O3基透明导电氧化物在透明电极制备方面具有巨大的潜力。此外,结合多功能电子器件的发展,提出延展性能好的氧化物/金属/氧化物三明治结构的透明导电氧化物薄膜是将来的发展方向和研究重点。 展开更多
关键词 氧化铟 氧化锡 氧化锌 透明导电氧化物
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全固态薄膜锂电池研究进展和产业化展望 被引量:19
6
作者 陈牧 颜悦 +6 位作者 刘伟明 周辰 郭志强 张晓锋 望咏林 厉蕾 张官理 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期1-20,共20页
全固态薄膜锂电池利用固态电解质替代传统电解液,采用多层薄膜堆垛的平面结构,属于新一代的锂离子电池,在军民两用的可穿戴设备、便携式移动电源、汽车和航空动力电池等领域应用前景广阔。该类电池因高安全性、长循环寿命、高比容量和... 全固态薄膜锂电池利用固态电解质替代传统电解液,采用多层薄膜堆垛的平面结构,属于新一代的锂离子电池,在军民两用的可穿戴设备、便携式移动电源、汽车和航空动力电池等领域应用前景广阔。该类电池因高安全性、长循环寿命、高比容量和高能量密度等优势性能受到业界广泛关注。本文概述薄膜锂电池的分类和充放电原理,总结正负极、电解质薄膜材料的发展历程和薄膜制备手段的改进,对比各类电池材料的电化学性能,引入该方向最新的研究进展:三维薄膜锂电池,可变形的柔性电池,高电压、大容量电池组。汇总国外商用电池产品、关键优势技术、电池制备设备,提出薄膜锂电池亟待解决的科学问题和国内潜在的产业化方向。 展开更多
关键词 薄膜锂电池 磁控溅射 正极薄膜 安全性 LIPON
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大面积石墨烯薄膜转移技术研究进展 被引量:11
7
作者 陈牧 颜悦 +6 位作者 张晓锋 刘伟明 周辰 郭志强 望咏林 厉蕾 张官理 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期1-11,共11页
化学气相沉积法合成的石墨烯薄膜在实现石墨烯产业化应用过程中,依赖于大面积薄膜转移技术的突破性进展。本文按照中介物过渡转移法、直接干法和湿法转移法、大规模卷对卷转移法分类介绍了现有的30多种石墨烯薄膜转移方法,从微观机理到... 化学气相沉积法合成的石墨烯薄膜在实现石墨烯产业化应用过程中,依赖于大面积薄膜转移技术的突破性进展。本文按照中介物过渡转移法、直接干法和湿法转移法、大规模卷对卷转移法分类介绍了现有的30多种石墨烯薄膜转移方法,从微观机理到宏观实现方法对比了三类方法的优缺点和适用范围:中介物过渡转移法主要用于实验室阶段科学探索,转移后的薄膜质量高但尺寸小;直接干法和湿法转移法减少了中介物过渡流程,但仍处于小试阶段;大规模卷对卷转移法借鉴了半导体薄膜工业成熟的卷对卷技术,实现了米级尺寸薄膜的高效和可重复性转移,是目前批量化转移石墨烯薄膜的最有效途径。 展开更多
关键词 石墨烯薄膜 转移技术 目标基片 中介物过渡转移 卷对卷转移
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低能离子束表面改性对聚碳酸酯(PC)润湿性能的影响 被引量:12
8
作者 伍建华 张官理 +3 位作者 王旭迪 颜悦 望咏林 温培刚 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期370-373,共4页
本文利用氩氧混合低能离子束对双酚A型聚碳酸酯(PC)透明材料进行表面改性,主要研究了改性前后表面润湿性的变化。结果表明,改性后的PC表面润湿性能得到了明显的改善,经XPS分析发现,改性后的PC表面生成了大量的含氧极性基团,使得表面含... 本文利用氩氧混合低能离子束对双酚A型聚碳酸酯(PC)透明材料进行表面改性,主要研究了改性前后表面润湿性的变化。结果表明,改性后的PC表面润湿性能得到了明显的改善,经XPS分析发现,改性后的PC表面生成了大量的含氧极性基团,使得表面含氧量有了很大的提高。原子力显微镜(AFM)的测试结果表明,改性后的PC表面粗糙度先减小后增大。 展开更多
关键词 低能离子束 聚碳酸酯 表面改性 接触角 表面粗糙度
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磁控溅射沉积工艺条件对薄膜厚度均匀性的影响 被引量:22
9
作者 温培刚 颜悦 +1 位作者 张官理 望咏林 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 2007年第3期66-68,共3页
薄膜厚度均匀性是衡量薄膜质量和镀膜装置性能的一项重要指标。在自行设计的磁控溅射沉积设备上,对薄膜沉积工艺中靶基间距、溅射功率、工作气压对膜厚均匀性的影响进行了研究,由连续光谱椭圆偏光仪SE800测量薄膜厚度。结果表明:靶基间... 薄膜厚度均匀性是衡量薄膜质量和镀膜装置性能的一项重要指标。在自行设计的磁控溅射沉积设备上,对薄膜沉积工艺中靶基间距、溅射功率、工作气压对膜厚均匀性的影响进行了研究,由连续光谱椭圆偏光仪SE800测量薄膜厚度。结果表明:靶基间距较大的情况下,薄膜均匀性明显改善;溅射功率和工作气压对薄膜均匀性也有较大的影响。 展开更多
关键词 磁控溅射 膜厚均匀性 膜厚测量
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低能离子束表面改性对聚碳酸酯(PC)粘接性能的影响 被引量:3
10
作者 张官理 伍建华 +3 位作者 张振 望咏林 张洪峰 温培刚 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期42-44,共3页
利用氩氧混合低能离子束对双酚A型聚碳酸酯(PC)透明材料进行表面改性,并用自制丙烯酸酯胶黏剂表征了改性前后的粘接性能。结果表明:改性后的PC与丙烯酸酯胶黏剂的压剪强度得到了明显的改善。经分析,粘接性能的改善是由于低能离子束表面... 利用氩氧混合低能离子束对双酚A型聚碳酸酯(PC)透明材料进行表面改性,并用自制丙烯酸酯胶黏剂表征了改性前后的粘接性能。结果表明:改性后的PC与丙烯酸酯胶黏剂的压剪强度得到了明显的改善。经分析,粘接性能的改善是由于低能离子束表面改性后的PC表面润湿性能的改善、表面活性的提高、表面弱电层的剥蚀和表面微交联层的生成引起的。 展开更多
关键词 低能离子束 聚碳酸酯 表面改性 粘接性能 压剪强度
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直流磁控溅射辉光等离子体的Langmuir静电探针诊断 被引量:4
11
作者 温培刚 颜悦 +6 位作者 望咏林 伍建华 张官理 张定国 陆文琪 董闯 徐军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期79-82,共4页
与大连理工大学合作研制了新型Langmuir静电探针。应用研制的静电探针,对氩气直流磁控溅射铜等离子体进行了轴向和径向二维空间内的诊断。诊断结果显示:电子温度随着离靶面距离增大而递减;电子密度在径向和轴向均存在波动;电子能量主要... 与大连理工大学合作研制了新型Langmuir静电探针。应用研制的静电探针,对氩气直流磁控溅射铜等离子体进行了轴向和径向二维空间内的诊断。诊断结果显示:电子温度随着离靶面距离增大而递减;电子密度在径向和轴向均存在波动;电子能量主要分布在0eV~5eV范围内,高能电子占比例极少。 展开更多
关键词 直流磁控溅射 Langmuir静电探针 等离子体 诊断
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柔性基底AZO薄膜制备及其红外发射率身性能研究 被引量:1
12
作者 李静 王智勇 +4 位作者 何山 望咏林 武建华 陈洁 温培刚 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第S1期293-297,共5页
利用反应磁控溅射,用不同掺杂比的锌铝合金靶材,在PI有机柔性基底表面制备了附着力良好、电阻率低的透明AZO薄膜,利用AFM,XRD、分光光度计、四电子探针等分析测试技术对AZO薄膜的形貌、结构、光电性能等进行了表征。并对性能良好的AZO... 利用反应磁控溅射,用不同掺杂比的锌铝合金靶材,在PI有机柔性基底表面制备了附着力良好、电阻率低的透明AZO薄膜,利用AFM,XRD、分光光度计、四电子探针等分析测试技术对AZO薄膜的形貌、结构、光电性能等进行了表征。并对性能良好的AZO薄膜在(3~5μm)和(8~14μm)两个大气窗口的红外发射率身性能进行了研究。 展开更多
关键词 AZO薄膜 反应磁控溅射 红外发射率
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壳聚糖/聚乙交酯三维编织物的力学性能
13
作者 袁晓燕 张庆伟 +1 位作者 望咏林 姚康德 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第B06期337-340,共4页
选择合适的生物材料和适宜的制备方法是实现组织修复、重建的重要环节.采用三维四步圆型编织方法,由壳聚糖和聚乙交酯(PGA)纤维制备绳索状三维编织物,研究其拉伸力学特性.研究结果表明:壳聚糖三维编织物的拉伸曲线与天然肌腱相似;... 选择合适的生物材料和适宜的制备方法是实现组织修复、重建的重要环节.采用三维四步圆型编织方法,由壳聚糖和聚乙交酯(PGA)纤维制备绳索状三维编织物,研究其拉伸力学特性.研究结果表明:壳聚糖三维编织物的拉伸曲线与天然肌腱相似;直径为3.5mm的壳聚糖三维编织物在湿态下的最大拉伸载荷为50~85N,远低于其干态下值(140~225N),添加轴向纱对其无显著影响;在编织纱中掺入PGA纤维,可显著提高三维编织物的最大拉伸裁荷;PGA含量较高的壳聚糖/PGA三维编织物预期可以用作人工肌腱材料. 展开更多
关键词 三维编织 壳聚糖 聚乙交酯 力学性能 人工肌腱
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舱外航天服头盔滤光面窗的设计与实现 被引量:2
14
作者 马加炉 姚丽坤 +5 位作者 钟艳莉 黄庆伟 望咏林 安荣涛 刘冀念 王怡灵 《载人航天》 CSCD 北大核心 2021年第1期27-33,共7页
针对舱外航天服头盔用滤光面窗,分别从需求分析、技术指标体系建立、设计与仿真计算、工艺试验、环境适应性考核验证等方面,开展了滤光面窗技术研究,研制了ITO膜/Au膜/PC面窗结构的滤光面窗。结果表明:该滤光面窗能有效衰减紫外线,过滤... 针对舱外航天服头盔用滤光面窗,分别从需求分析、技术指标体系建立、设计与仿真计算、工艺试验、环境适应性考核验证等方面,开展了滤光面窗技术研究,研制了ITO膜/Au膜/PC面窗结构的滤光面窗。结果表明:该滤光面窗能有效衰减紫外线,过滤可见光,遮断红外线,对近地轨道空间环境具有良好适应性。 展开更多
关键词 舱外航天服 头盔 滤光面窗 ITO膜/Au膜/PC面窗结构
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“超材料”结构吸波复合材料技术研究 被引量:16
15
作者 礼嵩明 蒋诗才 +2 位作者 望咏林 顾涧潇 邢丽英 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第11期10-14,共5页
研究了"超材料"结构吸波复合材料的制备技术及其力学性能与电性能。通过突破不同尺寸金属周期结构单元制备、金属周期结构单元转移、含金属周期结构单元吸波复合材料工艺参数优化等关键技术,制备出电性能和力学性能批次间稳... 研究了"超材料"结构吸波复合材料的制备技术及其力学性能与电性能。通过突破不同尺寸金属周期结构单元制备、金属周期结构单元转移、含金属周期结构单元吸波复合材料工艺参数优化等关键技术,制备出电性能和力学性能批次间稳定性良好的含多层金属周期结构单元的"超材料"结构吸波复合材料,"超材料"结构吸波复合材料在2~18GHz频率范围具有宽频高吸收的特性。 展开更多
关键词 超材料 结构吸波复合材料 力学性能 吸波性能
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In Vitro Degradation of Polyglycolide/Chitosan Hybrid Braids
16
作者 袁晓燕 张庆伟 +1 位作者 望咏林 姚康德 《Transactions of Tianjin University》 EI CAS 2005年第4期235-239,共5页
Hybrid braids of polyglycolide (PGA) and chitosan were prepared by the three-yarn braiding method from PGA and chitosan fiber bundles. These braids were in vitro degraded by incubating them in phosphate buffered sal... Hybrid braids of polyglycolide (PGA) and chitosan were prepared by the three-yarn braiding method from PGA and chitosan fiber bundles. These braids were in vitro degraded by incubating them in phosphate buffered saline (PBS) at pH 7.4 and 37 ℃ for 5 weeks. Results suggested that PGA/chitosan hybrid braids degraded significantly. Scanning electron micrographs showed that chitosan fibers in the PGA/chitosan hybrid braid with about 7500 PGA in weight (PGA75/chitosan) were shaped into gel-like after 5 weeks, but those in the hybrid braid with about 2500 PGA in weight (PGA25/chitosan) did not change. After 5 weeks, the ultimate tensile loads of PGA and PGA75/chitosan braids lost almost completely, but those of chitosan and PGA25/chitosan braids remained around 14 N. The PGA/chitosan hybrid braids with higher initial ultimate tensile load would have potential applications in tendon/ligament tissue reconstruction. 展开更多
关键词 玻璃 退化作用 壳聚糖 混合物
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辅助离子束对孪生磁场中频反应溅射等离子体特性的影响
17
作者 望咏林 伍建华 +1 位作者 刘宏燕 颜悦 《科技导报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第9期61-65,共5页
在自行研制的离子束辅助孪生磁场中频反应溅射设备中制备光学氧化钛薄膜,利用郎缪尔静电探针研究等离子特性变化,同时测定基片表面的伏安(I-V)特性。结果表明,随离子束功率密度不断提高,等离子体电子密度不断增加,悬浮负电位绝对值减小... 在自行研制的离子束辅助孪生磁场中频反应溅射设备中制备光学氧化钛薄膜,利用郎缪尔静电探针研究等离子特性变化,同时测定基片表面的伏安(I-V)特性。结果表明,随离子束功率密度不断提高,等离子体电子密度不断增加,悬浮负电位绝对值减小,溅射阴极电压下降;基片表面经历从富电子向富阳离子转变,基片正电位不断提高;辅助离子束为109 W时,基片表面处于电中性等离子体平衡态。 展开更多
关键词 孪生磁场 中频溅射 离子束 等离子体
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