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题名微透镜阵列的光刻胶热熔制作技术
被引量:7
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作者
任智斌
朱丽思
曾皓
姜会林
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机构
长春理工大学空间光电技术研究所
长春理工大学光电信息学院
长春理工大学光电工程学院
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出处
《长春理工大学学报(自然科学版)》
2006年第4期12-15,共4页
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基金
吉林省科技发展计划资助项目(20060523)
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文摘
介绍了利用光刻胶热熔法制作微透镜阵列这种简单、实用的技术。阐明了其原理、工艺流程、关键技术并给出了实验结果。结果表明,光刻胶热熔技术是一种简单、实用的微透镜阵列制作技术。本文的研究结果可为微透镜阵列的进一步研制及产业化提供参考。
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关键词
微透镜阵列
光刻胶热熔
反应离子刻蚀
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Keywords
Microlens array
Melting photoresist
Reactive ion beam etching
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分类号
TH703
[机械工程—精密仪器及机械]
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题名含衍射透镜的4^d视场卡塞格林光学系统
被引量:2
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作者
任智斌
朱丽思
曾皓
姜会林
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机构
长春理工大学空间光电技术研究所
长春理工大学光电信息学院
长春理工大学光电工程学院
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出处
《长春理工大学学报(自然科学版)》
2007年第1期1-4,共4页
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基金
中国博士后资助金资助项目(20060390895)
吉林省科技发展计划资助项目(20060523)
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文摘
为了改善卡赛格林光学系统的视场,首次将衍射透镜成功地引入大视场卡赛格林光学系统的设计中并给出了设计方案。该系统在次镜后使用了三个校正透镜且第一个透镜的前表面具有衍射面。此系统能在4°视场内获得接近衍射极限的成像质量,各视场的波前差均小于1/4波长,光学传递函数接近衍射极限。设计结果表明,衍射光学元件对于改善卡赛格林系统的视场具有重要的作用,此设计方案降低了对加工工艺水平的要求,成本大大降低,使设计结构紧凑且具有良好的消像差特性,从而找到并实践了提高卡赛格林光学系统视场的新途径。
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关键词
光学设计
衍射光学
视场
卡塞格林光学系统
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Keywords
optical design
diffractive optics
field of view
Cassegrain optical system
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分类号
O439
[机械工程—光学工程]
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