测量压电式微压传感器灵敏度的新方法

研制了一套压电微压传感器的性能测量系统，它采用均匀声腔硅油介质中传播的声波作为压力源，标准传感器和被测传感器同时接收波动声压，比较两传感器的输出，测定被测传感器的灵敏度及频响。实验测试了3只压电式微压传感器，结果表明：传感器的灵敏度平均为3．0mV／Pa，工作频率为20～2000Hz，灵敏度随频率波动小于0．5mV／Pa，灵敏度重复偏差小于0．24mV／Pa。