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基于真空环境的位移传感器校准系统精度研究 被引量:2
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作者 叶颖谦 任国营 +3 位作者 李伟仙 范乃胤 朱呈吉 董一凡 《计量学报》 CSCD 北大核心 2018年第B12期62-65,共4页
介绍了基于真空环境下位移传感器静态校准系统原理及其精度验证。传统的位移传感器校准装置和方法都在大气环境下进行,影响因素较多,测量精度也不易提高。该装置通过刚性传动装置,使真空中的位移与空气中的位移保持一致,由位移传感器测... 介绍了基于真空环境下位移传感器静态校准系统原理及其精度验证。传统的位移传感器校准装置和方法都在大气环境下进行,影响因素较多,测量精度也不易提高。该装置通过刚性传动装置,使真空中的位移与空气中的位移保持一致,由位移传感器测得空气中的位移值,由单频激光干涉仪通过迈克尔逊光学系统测得真空中的位移,两者之差,即是传感器的示值误差。最后,按照JJF 1305—2011的校准要求,对被测传感器进行了精度校准。 展开更多
关键词 计量学 真空 位移传感器 校准 精度
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