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题名基于真空环境的位移传感器校准系统精度研究
被引量:2
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作者
叶颖谦
任国营
李伟仙
范乃胤
朱呈吉
董一凡
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机构
北京信息科技大学
中国计量科学研究院
河南省计量科学研究院
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出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2018年第B12期62-65,共4页
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基金
国家重点研发计划(2018YFF0212702)
北京信息科技大学2018年度实培计划项目.
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文摘
介绍了基于真空环境下位移传感器静态校准系统原理及其精度验证。传统的位移传感器校准装置和方法都在大气环境下进行,影响因素较多,测量精度也不易提高。该装置通过刚性传动装置,使真空中的位移与空气中的位移保持一致,由位移传感器测得空气中的位移值,由单频激光干涉仪通过迈克尔逊光学系统测得真空中的位移,两者之差,即是传感器的示值误差。最后,按照JJF 1305—2011的校准要求,对被测传感器进行了精度校准。
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关键词
计量学
真空
位移传感器
校准
精度
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Keywords
metrology
vacuum
displacement sensor
calibration
precision
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分类号
TB92
[机械工程—测试计量技术及仪器]
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