激光化学气相沉积TiC、TiN类陶瓷薄膜概况

介绍了用LCVD法合成并沉积TiC、TiN类陶瓷膜的方法、原理、工艺特点以及LCVD法的一些独特优点。

合成WC类碳化物硬质相的新方法—激光合成法

本文综述地介绍了利用高能量密度的激光合成ＷＣ类碳化物硬质相复合层、硬质相表面薄膜以及硬质相超细粒子的原理，方法。