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聚酰亚胺(PI)薄膜电容型湿度传感器的研制 被引量：5
1
作者 骆如枋 陆玉萍 +4 位作者 边伟勇 朱庆杨 陈羽男 李晓红 张建安 《应用科学学报》 CAS CSCD 1993年第1期86-90,共5页
高分子薄膜湿度传感器是当今可实用的性能较优越的一类湿度传感器.一般所用的感湿材料,以醋酸纤维系为主(CA,CAB).聚酰亚胺(PI)于六十年代开始用作电器绝缘材料,七十年代用于微电子器件的表面钝化和PMP技术的多层布线,八十年代起替代Si... 高分子薄膜湿度传感器是当今可实用的性能较优越的一类湿度传感器.一般所用的感湿材料,以醋酸纤维系为主(CA,CAB).聚酰亚胺(PI)于六十年代开始用作电器绝缘材料,七十年代用于微电子器件的表面钝化和PMP技术的多层布线,八十年代起替代SiO_2作电子器件绝缘介质.1982年后应用于湿度传感器作为感湿材料.与醋酸纤维系材料相比,PI具有以下特点: 展开更多
关键词 湿度传感器 薄膜 聚酰亚胺
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