使用四象限探测器测量微小位移

四象限探测器的工作原理是光生伏特效应,通过4个象限电势的变化可算出光源的位移.使用四象限探测器测量了光源横向和纵向的位移,分析了实验误差的来源并给出了修正方法.实验结果表明,四象限探测器测量位移具有较高的测量精度和较短的时间响应,纵向测量的灵敏度比横向测量的灵敏度低.