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题名基于光纤光栅新型微位移测量方法研究
被引量:1
- 1
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作者
朱正恺
刘芳芳
朱肃然
费业泰
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机构
合肥工业大学仪器学院
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2013年第11期108-110,共3页
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基金
国家科技重大专项(2011ZX04014-071)
国家自然科学基金资助项目(512051)
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文摘
微纳米超精密测量是目前热点研究领域,光纤布拉格光栅作为良好的传感元件,用于微纳米测量领域具有广阔前景。首先对光纤布拉格光栅传感的基本原理进行了分析,在此基础上,采用布拉格光纤光栅熔制悬挂式探针测头作为传感元件,利用匹配法进行波长解调,然后设计一整套系统,以实现微位移量测量。利用激光干涉仪和PI微动平台对系统性能进行标定,并利用广义多项式对测量数据进行拟合。实验结果显示:系统分辨率达到10 nm,曲线拟合优度为0.999 6。
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关键词
布拉格光纤光栅
位移
传感器
可调谐匹配法
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Keywords
fiber bragg grating
displacement
sensor
tunable matching method
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名基于布拉格光纤光栅的微位移传感器的研究
被引量:4
- 2
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作者
朱肃然
夏豪杰
刘芳芳
朱正恺
费业泰
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机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
合肥工业大学
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出处
《工具技术》
2013年第8期61-65,共5页
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基金
国家科技重大专项(2011ZX04014-071)
国家自然科学基金(51205103)
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文摘
微位移测量是目前热点研究领域,光纤布拉格光栅作为良好的传感元件,已被用于微位移测量领域。本文首先对布拉格光纤光栅传感的基本原理进行了分析,在此基础上设计制作了一种光纤光栅位移传感器。采用布拉格光纤光栅作为传感元件,利用自解调法进行波长解调,然后设计一整套传感系统,对微位移量进行了传感测量。利用激光干涉仪和PI微动平台对系统性能进行测试,实验结果显示传感系统分辨率达到50nm,系统回零重复性的误差26nm,系统的灵敏度为21mV/μm,最大非线性引用误差为2.45%。
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关键词
布拉格光纤光栅
微位移测量
自解调法
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Keywords
fiber Bragg grating
micro displacement measurement
self-demodulation
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分类号
TG84
[金属学及工艺—公差测量技术]
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