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3通道短波红外光谱可识别列阵探测器的研制 被引量：4
1
作者 程实平 严义埙 +2 位作者 张凤山 许步云 朱翠媛 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1994年第6期401-404,共4页
用掩模分离方法或薄膜刻蚀方法制作出多波段微型滤光片列阵，将这类微型焦平面色散元件与列阵探测器结合，构成光谱可识别列阵探测器，报道了３通道短波红外滤光片列阵的设计和制作，以及４元３通道光谱可识别探测器的研制．
关键词 红外光谱 分光技术 列阵探测器 薄膜刻蚀
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