期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
4
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
三氯氢硅合成尾气的综合回收
被引量:
9
1
作者
朱骏业
《世界有色金属》
1995年第6期25-28,共4页
三氯氢硅合成尾气的综合回收朱骏业(北京有色冶金设计研究总院)1前言多晶硅生产技术不断发展,各生产厂家围绕提高产品质量,降低产品成本,正在展开激烈紧张的竞争。原辅材料和动力能源的消耗,是影响多晶硅成本的主要因素,原辅材...
三氯氢硅合成尾气的综合回收朱骏业(北京有色冶金设计研究总院)1前言多晶硅生产技术不断发展,各生产厂家围绕提高产品质量,降低产品成本,正在展开激烈紧张的竞争。原辅材料和动力能源的消耗,是影响多晶硅成本的主要因素,原辅材料和还原直接电耗在多晶硅生产成本中...
展开更多
关键词
三氯氢硅
合成
多晶硅
尾气
废气处理
下载PDF
职称材料
降低多晶硅还原电耗的途径
被引量:
7
2
作者
朱骏业
《世界有色金属》
1995年第5期41-45,共5页
降低多晶硅还原电耗的途径北京有色冶金设计研究总院朱骏业一、前言多晶硅是单晶硅的原料,最主要的半导体材料。多晶硅生产方法主要有改良西门子法、新硅烷及流化床法。改良西门子法是在西门子工艺的基础上发展而成的,是当今占绝对优...
降低多晶硅还原电耗的途径北京有色冶金设计研究总院朱骏业一、前言多晶硅是单晶硅的原料,最主要的半导体材料。多晶硅生产方法主要有改良西门子法、新硅烷及流化床法。改良西门子法是在西门子工艺的基础上发展而成的,是当今占绝对优势的生产方法,80%的多晶硅是采用...
展开更多
关键词
半导体
多晶硅
还原
节能
电能
下载PDF
职称材料
光亮退火用保护气体装置的改进
3
作者
朱骏业
《金属热处理》
CAS
CSCD
北大核心
1995年第9期34-35,40,共3页
关键词
铜合金
退火
光亮退火
保护气体装置
下载PDF
职称材料
国内外多晶硅发展近况
4
作者
朱骏业
《电子材料(机电部)》
1995年第5期1-6,共6页
介绍了目前国外多晶硅的几大生产特点,指出了国内多晶硅生产及市场存在的主要问题,提出了一些解决办法。
关键词
多晶硅
半导体
工业
生产
市场
下载PDF
职称材料
题名
三氯氢硅合成尾气的综合回收
被引量:
9
1
作者
朱骏业
机构
北京有色冶金设计研究总院
出处
《世界有色金属》
1995年第6期25-28,共4页
文摘
三氯氢硅合成尾气的综合回收朱骏业(北京有色冶金设计研究总院)1前言多晶硅生产技术不断发展,各生产厂家围绕提高产品质量,降低产品成本,正在展开激烈紧张的竞争。原辅材料和动力能源的消耗,是影响多晶硅成本的主要因素,原辅材料和还原直接电耗在多晶硅生产成本中...
关键词
三氯氢硅
合成
多晶硅
尾气
废气处理
分类号
X789.01 [环境科学与工程—环境工程]
下载PDF
职称材料
题名
降低多晶硅还原电耗的途径
被引量:
7
2
作者
朱骏业
机构
北京有色冶金设计研究总院
出处
《世界有色金属》
1995年第5期41-45,共5页
文摘
降低多晶硅还原电耗的途径北京有色冶金设计研究总院朱骏业一、前言多晶硅是单晶硅的原料,最主要的半导体材料。多晶硅生产方法主要有改良西门子法、新硅烷及流化床法。改良西门子法是在西门子工艺的基础上发展而成的,是当今占绝对优势的生产方法,80%的多晶硅是采用...
关键词
半导体
多晶硅
还原
节能
电能
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
光亮退火用保护气体装置的改进
3
作者
朱骏业
机构
北京有色冶金设计研究总院
出处
《金属热处理》
CAS
CSCD
北大核心
1995年第9期34-35,40,共3页
关键词
铜合金
退火
光亮退火
保护气体装置
分类号
TG166.22 [金属学及工艺—热处理]
下载PDF
职称材料
题名
国内外多晶硅发展近况
4
作者
朱骏业
出处
《电子材料(机电部)》
1995年第5期1-6,共6页
文摘
介绍了目前国外多晶硅的几大生产特点,指出了国内多晶硅生产及市场存在的主要问题,提出了一些解决办法。
关键词
多晶硅
半导体
工业
生产
市场
分类号
F407.635 [经济管理—产业经济]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
三氯氢硅合成尾气的综合回收
朱骏业
《世界有色金属》
1995
9
下载PDF
职称材料
2
降低多晶硅还原电耗的途径
朱骏业
《世界有色金属》
1995
7
下载PDF
职称材料
3
光亮退火用保护气体装置的改进
朱骏业
《金属热处理》
CAS
CSCD
北大核心
1995
0
下载PDF
职称材料
4
国内外多晶硅发展近况
朱骏业
《电子材料(机电部)》
1995
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部