三氯氢硅合成尾气的综合回收

三氯氢硅合成尾气的综合回收朱骏业（北京有色冶金设计研究总院）１前言多晶硅生产技术不断发展，各生产厂家围绕提高产品质量，降低产品成本，正在展开激烈紧张的竞争。原辅材料和动力能源的消耗，是影响多晶硅成本的主要因素，原辅材料和还原直接电耗在多晶硅生产成本中...

降低多晶硅还原电耗的途径

降低多晶硅还原电耗的途径北京有色冶金设计研究总院朱骏业一、前言多晶硅是单晶硅的原料，最主要的半导体材料。多晶硅生产方法主要有改良西门子法、新硅烷及流化床法。改良西门子法是在西门子工艺的基础上发展而成的，是当今占绝对优势的生产方法，８０％的多晶硅是采用...

国内外多晶硅发展近况

介绍了目前国外多晶硅的几大生产特点，指出了国内多晶硅生产及市场存在的主要问题，提出了一些解决办法。