a-Si TFT LCD过孔尺寸的缩减(英文)

为了提高薄膜晶体管液晶显示器的开口率,研究了在优化的钝化层沉积条件下的过孔尺寸。结果表明,随着钝化层沉积温度的升高,钝化层的刻蚀率在下降,过孔的尺寸变小。当钝化层沉积温度在360℃时,过孔尺寸为8.20μm。