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EPS-石膏-矿渣保温墙体材料研究 被引量:12
1
作者 李久明 王珍吾 +3 位作者 艾永平 刘利军 王展光 刘祥辉 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期533-536,共4页
以经过改性废旧EPS(聚苯乙烯)颗粒为保温骨料,以石膏-矿渣胶凝材料为无机粘结材料,制备出具有一定的强度、造价低廉、利废节能且具有良好保温性能的EPS-石膏-矿渣墙体保温材料,并研究了聚苯乙烯颗粒含量与该复合材料各项性能的关系。结... 以经过改性废旧EPS(聚苯乙烯)颗粒为保温骨料,以石膏-矿渣胶凝材料为无机粘结材料,制备出具有一定的强度、造价低廉、利废节能且具有良好保温性能的EPS-石膏-矿渣墙体保温材料,并研究了聚苯乙烯颗粒含量与该复合材料各项性能的关系。结果表明,对EPS颗粒进行改性处理,其作用效果明显,能显著改善EPS-石膏-矿渣墙体保温材料的各项性能,提高材料的强度和软化系数;随着EPS颗粒含量的增加,材料的强度迅速降低,密度下降,导热系数随之减小,而软化系数略有提高。 展开更多
关键词 EPS-石膏·矿渣 保温墙体材料 性能
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冀北丰宁银(金)矿床地质、地球化学特征及成因 被引量:11
2
作者 李久明 巩恩普 +1 位作者 姚玉增 梁俊红 《地质找矿论丛》 CAS CSCD 2006年第4期241-247,共7页
冀北丰宁银(金)矿床的成矿深度<1 km,成矿温度<300℃,成矿时间晚于次火山隐爆成岩作用1.0 Ma以上,是与隐爆作用有关的陆相次火山浅成低温热液型银多金属矿床。次火山隐爆作用只是一种构造动力因素,起到动力源和提供扩容空间的间... 冀北丰宁银(金)矿床的成矿深度<1 km,成矿温度<300℃,成矿时间晚于次火山隐爆成岩作用1.0 Ma以上,是与隐爆作用有关的陆相次火山浅成低温热液型银多金属矿床。次火山隐爆作用只是一种构造动力因素,起到动力源和提供扩容空间的间接成矿作用,而直接的成矿环境为浅成低温水热流体的成矿演化体系。热液流体大致可分为两类:一是富含SiO2的热流体,存在于每次隐爆作用之中,起到胶结花岗质角砾的作用,并有少量金属硫化物(如黄铁矿等)沉淀;二是有大量地下水参与的含矿水热流体,形成于隐爆作用发生之后,此阶段的热液活动导致Au,Ag,Pb,Zn,Fe,Cu等金属及其化合物的富集与沉淀。 展开更多
关键词 冀北 丰宁银-多金属矿床 地质、地球化学特征 浅成低温热液
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经膀胱造瘘通路治疗良性前列腺增生合并的膀胱结石 被引量:9
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作者 李久明 周鹤同 +6 位作者 吴宏飞 于洪波 李保军 沈华 张斌 林建中 廖凯 《现代泌尿外科杂志》 CAS 2012年第6期618-619,共2页
目的探讨经膀胱造瘘通路处理良性前列腺增生合并膀胱结石患者的有效治疗方法。方法采用经膀胱造瘘通路钬激光或者超声波/气压弹道碎石清石系统(EMS)治疗膀胱结石结合经尿道等离子双极前列腺电切术(PKRP)治疗良性前列腺增生患者16例,并... 目的探讨经膀胱造瘘通路处理良性前列腺增生合并膀胱结石患者的有效治疗方法。方法采用经膀胱造瘘通路钬激光或者超声波/气压弹道碎石清石系统(EMS)治疗膀胱结石结合经尿道等离子双极前列腺电切术(PKRP)治疗良性前列腺增生患者16例,并对其疗效及优点进行分析。结果手术均顺利成功,如期出院,膀胱结石击碎、清除率100%,无膀胱穿孔、电切综合征、术后出血,碎石时间3~22min,中位时间11.5min,前列腺切除中位时间89.5min。结论经膀胱造瘘通路钬激光或者EMS碎石清石系统治疗膀胱结石结合PKRP是一种安全、高效的治疗方法。 展开更多
关键词 膀胱结石 良性前列腺增生 膀胱造瘘 碎石 PKRP
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塔吉克斯坦上库马尔克金矿床地质-地球物理特征及找矿方向 被引量:6
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作者 李久明 周可法 +3 位作者 袁新民 杨寅静 吴艳爽 刘璇 《地质找矿论丛》 CAS CSCD 2016年第3期425-433,共9页
中塔吉克斯坦贵金属矿床大多与古生代浅变质沉积岩系关系密切,矿化富集多产于不同岩性层间的裂隙、滑动带及破碎带等部位,具有较明显的层控特征。上库马尔克金矿床位于中塔吉克斯坦贵金属成矿带中,从矿床成矿控矿地质条件和地球物理特... 中塔吉克斯坦贵金属矿床大多与古生代浅变质沉积岩系关系密切,矿化富集多产于不同岩性层间的裂隙、滑动带及破碎带等部位,具有较明显的层控特征。上库马尔克金矿床位于中塔吉克斯坦贵金属成矿带中,从矿床成矿控矿地质条件和地球物理特征来看,金矿体与花岗质脉岩紧密伴生,矿床成因与晚古生代黑色岩系沉积变形、变质及热液萃取改造作用有关,含碳浅变质碎屑岩带尤其是碳质-黏土片岩层的金含量相对较高,属于含碳浅变质碎屑岩型金矿床。矿床激电异常特征显示,高极化率、相对低电阻的物探异常是金矿化蚀变带的反映,该套组合异常往往是矿区寻找金矿或相关地质体的重要地球物理标志。 展开更多
关键词 上库马尔克金矿床 地质-地球物理特征 找矿方向 塔吉克斯坦
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塔吉克斯坦东杜奥巴金矿床地质特征及成因探讨 被引量:3
5
作者 李久明 周可法 +3 位作者 吴艳爽 王勇义 杨寅静 刘璇 《西北地质》 CAS CSCD 2016年第2期165-175,共11页
东杜奥巴金矿床位于中塔吉克斯坦贵金属成矿带内,是乔列金矿田已探明的4处大型金矿床之一,矿床受区域推覆构造控制明显,时空上与区域发育的古生代浅变质沉积岩系有关;黄铁矿和毒砂是最主要的载金矿物,自然金呈包裹体赋存于成矿期黄铁矿... 东杜奥巴金矿床位于中塔吉克斯坦贵金属成矿带内,是乔列金矿田已探明的4处大型金矿床之一,矿床受区域推覆构造控制明显,时空上与区域发育的古生代浅变质沉积岩系有关;黄铁矿和毒砂是最主要的载金矿物,自然金呈包裹体赋存于成矿期黄铁矿和毒砂矿物中。区域上基底地层与上覆盖层在晚古生代时期经历过3次大规模的构造重组:隆升阶段-造山阶段-晚华力西期造山的最终阶段,并导致矿床当前的时空就位。含碳浅变质碎屑岩带和钠长石化花岗斑岩脉与矿体的成因及时空分布密切相关,矿床成因类型是与早古生代黑色岩系沉积变形、变质及改造作用有关的浅变质碎屑岩型和接触交代蚀变岩型金矿床。 展开更多
关键词 东杜奥巴金矿 成矿背景 矿床特征 成因探讨 塔吉克斯坦
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HIV-1Rev基因编码蛋白在PEL细胞系中的表达及其表达蛋白抑制HHV-8溶解性周期复制 被引量:3
6
作者 李久明 华立新 +4 位作者 冯宁翰 曹戌 吕志刚 秦娣 卢春 《南京医科大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期702-706,共5页
目的:构建含人类免疫缺陷病毒1型(HIV-1)病毒颗粒蛋白表达调节因子(regulator of virion protein expression,Rev)编码基因的重组真核表达质粒并初步探索Rev基因编码蛋白对人类疱疹病毒8型(HHV-8)溶解性周期复制的影响。方法:构建pRev-F... 目的:构建含人类免疫缺陷病毒1型(HIV-1)病毒颗粒蛋白表达调节因子(regulator of virion protein expression,Rev)编码基因的重组真核表达质粒并初步探索Rev基因编码蛋白对人类疱疹病毒8型(HHV-8)溶解性周期复制的影响。方法:构建pRev-Flag重组质粒并进行酶切鉴定和序列测定;将pRev-Flag重组质粒瞬时转染原发性渗出性淋巴瘤细胞系(PEL)BCBL-1细胞和小鼠胚胎成纤维细胞NIH/3T3,采用RT-PCR、Western blot分别从mRNA和蛋白水平检测Rev基因的表达情况;提取瞬时转染pRev-Flag重组质粒的BCBL-1细胞总RNA,进行RT-PCR检测HHV-8次要衣壳蛋白编码基因ORF26 mRNA转录水平。结果:核酸序列分析结果表明,克隆的Rev基因序列与GenBank中已登记的Rev序列100%同源,RT-PCR和Western blot都在Rev预期位置检测到特异性条带。RT-PCR检测显示,Rev基因编码蛋白能够降低HHV-8 ORF26 mRNA转录水平。结论:成功构建含Rev基因序列的重组质粒并在真核细胞中获得正确表达;初步探索表明Rev蛋白能够抑制HHV-8溶解性周期复制。 展开更多
关键词 人类免疫缺陷病毒1型 病毒颗粒蛋白表达调节因子 人类疱疹病毒8型 复制
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亚洲玉米螟性信息素的合成新方法 被引量:6
7
作者 李久明 黄国正 +1 位作者 雍建平 阿吉艾克拜尔.艾萨 《农药》 CAS 北大核心 2007年第6期388-389,400,共3页
以10-羟基癸酸为起始原料,经过四氢铝锂还原、单边溴代、邻苯二甲酸二环乙酯(DHP)保护、格氏试剂偶联、脱DHP及乙酰化、臭氧化反应和Wittig反应,以17.9%的总收率合成了亚洲玉米螟性信息素(Z/E)-12-十四碳烯醇乙酸酯(1,2)和正十四碳醇乙... 以10-羟基癸酸为起始原料,经过四氢铝锂还原、单边溴代、邻苯二甲酸二环乙酯(DHP)保护、格氏试剂偶联、脱DHP及乙酰化、臭氧化反应和Wittig反应,以17.9%的总收率合成了亚洲玉米螟性信息素(Z/E)-12-十四碳烯醇乙酸酯(1,2)和正十四碳醇乙酸酯(3)。与文献报道的方法相比,此方法更经济。 展开更多
关键词 亚洲玉米螟 性信息素 (Z/E)-12-十四碳烯醇乙酸酯 臭氧化反应
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塔吉克斯坦上库马尔克金矿床地质特征及EH-4勘查技术应用 被引量:4
8
作者 李久明 周可法 +4 位作者 吴艳爽 王勇义 刘光涛 刘璇 王利强 《物探与化探》 CAS CSCD 2016年第2期264-271,共8页
上库马尔克金矿床位于中塔吉克斯坦贵金属成矿带内,成矿控矿地质条件和地球物理特征表明,矿体受断裂构造控制明显,时空上与区域发育的古生界浅变质沉积岩系有关,是中亚成矿域最典型矿床类型之一。矿床在20世纪60~80年代经历了一系列地... 上库马尔克金矿床位于中塔吉克斯坦贵金属成矿带内,成矿控矿地质条件和地球物理特征表明,矿体受断裂构造控制明显,时空上与区域发育的古生界浅变质沉积岩系有关,是中亚成矿域最典型矿床类型之一。矿床在20世纪60~80年代经历了一系列地质找矿勘查工作,发现了较好的矿化线索,显示了巨大的找矿潜力。但是,前人找矿勘探工作基本在地表至地下300 m以浅范围,矿化带向深部继续延伸。对此,通过地球物理勘查方法试验,本区深部找矿开展了音频大地电磁测深(EH-4)应用技术研究,大致了解测区1 000 m以浅深度范围内的宏观地质特征,总结了以EH-4方法为主的找矿标志,并圈定了找矿有利区段,对本区深部找矿工作具有重要的指导意义。 展开更多
关键词 塔吉克斯坦 上库马尔克金矿 EH-4勘查技术 深部找矿
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梨小食心虫性信息素的廉价合成 被引量:8
9
作者 李久明 雍建平 +1 位作者 于观平 阿吉艾克拜尔.艾萨 《农药》 CAS 北大核心 2008年第7期500-501,共2页
以廉价的工业化原料1,6-己二醇为起始原料,以简便的方法合成了梨小食心虫性信息素(Z/E)-8-十二碳烯醇乙酸酯(化合物1、2)(Z/E比例GC分析摩尔比为79∶21),总收率为35.7%。方法最大的优点是比文献报道的方法更经济。
关键词 合成 梨小食心虫 性信息素 8-(Z/E)-十二碳烯醇乙酸酯
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塔吉克斯坦东杜奥巴金矿床岩脉矿体岩石学、地球化学及成矿年代学研究 被引量:3
10
作者 李久明 周可法 《地质学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期197-214,共18页
东杜奥巴金矿床位于中亚造山带西南天山褶皱系的西端,区域内岩浆岩体总体呈北西-南东向展布,单个岩体呈岩枝或岩脉状产出。岩体的主要岩性为偏碱性-中酸性的二长岩、二长花岗岩、石英二长岩。其中,部分岩石为赋矿岩石,并对成矿有一定的... 东杜奥巴金矿床位于中亚造山带西南天山褶皱系的西端,区域内岩浆岩体总体呈北西-南东向展布,单个岩体呈岩枝或岩脉状产出。岩体的主要岩性为偏碱性-中酸性的二长岩、二长花岗岩、石英二长岩。其中,部分岩石为赋矿岩石,并对成矿有一定的控制作用。本次研究对6件岩浆岩进行了岩石学、全岩地球化学分析,并对其中4件样品进行了LA-ICP-MS锆石U-Pb定年分析,厘定了成岩成矿时限和构造环境。样品为亚碱-高钾钙碱性的准铝质岩石,属二长岩-石英二长岩系列:SiO2含量变化范围为57.34%~64.13%,K2O含量为3.40%~4.65%,Na2O含量为3.29%~6.17%,全碱含量(ALK)为7.13%~9.57%,固结指数(SI)为10.42~19.95,分异指数(DI)为65.75~94.06,碱度率(A.R.)为2.2~3.78,里特曼指数(σ)为2.52~5.54。岩石稀土总量偏低,∑REE变化于60.93×10^(-6)~133.37×10^(-6)之间,轻重稀土分异明显,显示出右倾的球粒陨石标准化REE配分曲线,HREE曲线相对平坦,其(La/Yb)N=5.45~22.53,(La/Sm)N=2.46~4.28,Nb/Ta值在5.02~8.29之间,并表现出大离子亲石元素K、Rb、U明显富集,高场强元素Nb、Ta、P、Ti相对亏损的特征,并且具有Hf、La和Ce的正异常以及Sr负异常。此外,岩石显示出壳型-壳幔型的主量元素特征,表明岩浆演化过程中可能有幔源物质的加入。LA-ICP-MS锆石U-Pb定年结果显示,206Pb/238 U加权平均年龄值为284.8±2.1Ma(MSWD=2.2),表明东杜奥巴金矿岩脉矿体形成于早二叠世。结合区域地质背景,本文认为该矿床成矿作用发生于晚古生代活动陆缘半成熟的岛弧环境,且偏碱性-中酸性岩浆的产生对金矿的形成具有重要的意义。 展开更多
关键词 岩脉矿体 地球化学 成矿年代学 东杜奥巴金矿床 塔吉克斯坦
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燕山地区银矿成矿时代与成矿物质来源探讨 被引量:3
11
作者 李久明 巩恩普 +1 位作者 姚玉增 于海纲 《地质与资源》 CAS 2006年第3期179-186,共8页
通过大量的K-Ar同位素年龄和硫、铅、氢-氧同位素数据统计、对比分析,认为燕山地区陆相火山-次火山岩型银矿床与著名的环太平洋东带陆相火山岩型银矿床有着明显的差别.本区银矿成矿时代为195~100Ma;成矿物质以深部来源为主,兼有基底和... 通过大量的K-Ar同位素年龄和硫、铅、氢-氧同位素数据统计、对比分析,认为燕山地区陆相火山-次火山岩型银矿床与著名的环太平洋东带陆相火山岩型银矿床有着明显的差别.本区银矿成矿时代为195~100Ma;成矿物质以深部来源为主,兼有基底和盖层物质加入;成矿热液主要是岩浆水中混入大量天水的混合水. 展开更多
关键词 火山-次火山岩型银矿床 成矿时代 同位素 成矿物质来源
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河北省丰宁银矿萤石特征及找矿意义 被引量:4
12
作者 李久明 巩恩普 姚玉增 《地质与勘探》 CAS CSCD 北大核心 2006年第6期52-56,共5页
萤石是丰宁银矿最重要的标志性脉石矿物之一,对其产出的地质地球化学特征研究认为,银成矿与萤石具有极其相似的地球化学行为,空间上可密切伴生产出。紫色萤石于热液活动早期酸性介质中沉淀而成,距矿体最近;绿色、白色萤石在热液活动中... 萤石是丰宁银矿最重要的标志性脉石矿物之一,对其产出的地质地球化学特征研究认为,银成矿与萤石具有极其相似的地球化学行为,空间上可密切伴生产出。紫色萤石于热液活动早期酸性介质中沉淀而成,距矿体最近;绿色、白色萤石在热液活动中—晚期于中性介质中沉淀而成,距矿体较远;无色萤石在热液活动晚期于碱性介质中析出,距离矿液活动中心最远。 展开更多
关键词 丰宁银矿 萤石 地质地球化学特征
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亚洲玉米螟性信息素的简便合成 被引量:3
13
作者 李久明 雍建平 +3 位作者 黄凤兰 白淑珍 肖天梅 陈玉花 《现代农药》 CAS 2011年第4期35-37,40,共4页
以廉价的1,12-十二碳二醇为起始原料,经单边溴代、乙酰化、氧化吡啶氧化和Wittig反应,以36.6%的总收率合成了亚洲玉米螟性信息素(Z/E)-12-十四碳烯醇乙酸酯(Z/E,89/11),接着将顺反异构体混合物在亚硝酸钠和硝酸体系中经构型转化得到顺... 以廉价的1,12-十二碳二醇为起始原料,经单边溴代、乙酰化、氧化吡啶氧化和Wittig反应,以36.6%的总收率合成了亚洲玉米螟性信息素(Z/E)-12-十四碳烯醇乙酸酯(Z/E,89/11),接着将顺反异构体混合物在亚硝酸钠和硝酸体系中经构型转化得到顺反比例为17/83的12-十四碳烯醇乙酸酯。产物通过红外光谱、核磁共振光谱数据确证,并采用气相色谱确定了顺反异构体的比例。该方法简单、易操作,而且总产率相对高于文献报道。 展开更多
关键词 1 12-十二碳二醇 WITTIG反应 亚洲玉米螟性信息素 合成
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蓖麻饼粕活性成分的提取及杀虫活性研究 被引量:5
14
作者 李久明 雍建平 《江苏农业科学》 CSCD 北大核心 2012年第2期245-246,共2页
对蓖麻饼粕进行了提取、分离和纯化,并对其提取物进行了杀虫活性试验。结果表明:蓖麻饼粕粗提物及纯化后的样品均对菜青虫具有较好的杀虫活性,而且杀虫活性与作用时间、提取物浓度呈正相关;蓖麻饼粕中蓖麻碱含量越高,杀虫活性越强。
关键词 蓖麻饼粕 活性成分 蓖麻碱 提取 杀虫作用
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冀北中生代内生有色金属成矿规律及其动力学浅析 被引量:10
15
作者 李久明 叶强 +1 位作者 刘伟江 王正 《矿产与地质》 2011年第2期98-104,共7页
冀北地区位于西伯利亚板块与中朝板块的对接及我国东部濒西太平洋构造域的交叉点上,加上中生代中国东部岩石圈深部地幔柱隆升的联合作用,导致这里成为内生有色金属成矿的天然有利场所,具有巨大的资源潜力。尤其是在中生代火山—侵入杂... 冀北地区位于西伯利亚板块与中朝板块的对接及我国东部濒西太平洋构造域的交叉点上,加上中生代中国东部岩石圈深部地幔柱隆升的联合作用,导致这里成为内生有色金属成矿的天然有利场所,具有巨大的资源潜力。尤其是在中生代火山—侵入杂岩体内部及其边缘和构造动力学机制转换的地带是找矿预测的最为有利部位。 展开更多
关键词 内生矿床 成矿规律 动力学机制 有色金属 中生代 冀北
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苏皖地区汉族人群XRCC4 rs6869366多态性与前列腺癌易感性的关系 被引量:1
16
作者 李久明 吴宏飞 +1 位作者 糜远源 冯宁翰 《南京医科大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2012年第12期1704-1706,1710,共4页
目的:研究中国苏皖地区汉族人群X线修复交叉互补组4(XRCC4)rs6869366多态性与前列腺癌(prostate cancer,PCa)易感性的关系。方法:采用病例-对照研究,提取187例PCa患者(病例组)和210例非肿瘤患者(对照组)外周血基因组DNA,应用聚合酶链反... 目的:研究中国苏皖地区汉族人群X线修复交叉互补组4(XRCC4)rs6869366多态性与前列腺癌(prostate cancer,PCa)易感性的关系。方法:采用病例-对照研究,提取187例PCa患者(病例组)和210例非肿瘤患者(对照组)外周血基因组DNA,应用聚合酶链反应-连接酶特异检测技术(polymorphism chian reaction and ligase detection reaction,PCR-LDR)分析两组XRCC4 rs6869366位点的多态性,比较不同基因型与PCa易感性的关系。结果:以携带TT基因型的对象为参照组,携带GT基因型者患PCa的风险是携带TT基因型的1.15倍(OR=2.15,95%CI:1.02~4.53)。结论:XRCC4 rs6869366与苏皖地区汉族人群PCa的易感性有关,GT可能是PCa的易感基因型。 展开更多
关键词 XRCC4 前列腺癌 基因多态性 易感性
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蓖麻碱的提取纯化及结构表征 被引量:3
17
作者 李久明 雍建平 《时珍国医国药》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期578-579,共2页
采用传统的溶剂提取柱分离技术从蓖麻饼粕中分离纯化了蓖麻碱,采用RP-HPLC检测了其纯度(99.9%)。通过IR,1H NMR,TOF-MS对其进行了表征,接着在DFT-B3LYP/6-311+G(d)水平下进行了量子化学计算,计算了其单点能、前线轨道能量、结构参数及... 采用传统的溶剂提取柱分离技术从蓖麻饼粕中分离纯化了蓖麻碱,采用RP-HPLC检测了其纯度(99.9%)。通过IR,1H NMR,TOF-MS对其进行了表征,接着在DFT-B3LYP/6-311+G(d)水平下进行了量子化学计算,计算了其单点能、前线轨道能量、结构参数及电荷分布。 展开更多
关键词 蓖麻碱 分离 纯化
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(R)-3-氨基四氢呋喃的合成工艺研究 被引量:1
18
作者 李久明 雍建平 《广州化工》 CAS 2012年第16期62-63,共2页
以(S)-3-羟基四氢呋喃为原料,通过对甲苯磺酰化、叠氮化、采用廉价的还原剂Zn/NH4Cl还原叠氮制备(R)-3-氨基四氢呋喃。所有的产物均经过IR,1H NMR进行了表征。与文献中报道的方法相比较,该方法更经济。
关键词 (S)-3-羟基四氢呋喃 (R)-3-氨基四氢呋喃 合成
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创新型建筑与环艺设计人才培养的思考 被引量:3
19
作者 李久明 杜晟连 《井冈山大学学报(自然科学版)》 2009年第1期20-22,共3页
由于艺术设计人才具有的综合性、多元化特点和大学教育存在的个性化、多样化原因,决定了建筑与环艺专业教育对建筑与环艺设计人才培养的复杂性和多样性。本文在分析建筑与环艺设计人才特点的基础上,结合创新教育的新观念,阐述了创新型... 由于艺术设计人才具有的综合性、多元化特点和大学教育存在的个性化、多样化原因,决定了建筑与环艺专业教育对建筑与环艺设计人才培养的复杂性和多样性。本文在分析建筑与环艺设计人才特点的基础上,结合创新教育的新观念,阐述了创新型建筑与环艺设计人才应具备的素质结构,并进一步对创新型建筑与环艺设计人才的素质和能力培养进行了探讨。 展开更多
关键词 建筑与环艺设计 人才特点 素质结构 素质培养
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离子束溅射组装均质Cu-W膜不同铜钨靶功率、气压对膜结构的影响
20
作者 李久明 王珍吾 +2 位作者 艾永平 刘祥辉 刘利军 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2013年第1期35-36,55,共3页
目前,对磁控溅射组装Cu-W均质复合膜的工艺及成膜机理研究不够深入。通过磁控溅射组装均质Cu-W薄膜,考察了溅射工艺参数对膜结构的影响。结果表明:直流磁控溅射组装均质Cu-W薄膜时,钨是以β-钨为骨架固溶进部分铜的方式存在;随铜靶功率... 目前,对磁控溅射组装Cu-W均质复合膜的工艺及成膜机理研究不够深入。通过磁控溅射组装均质Cu-W薄膜,考察了溅射工艺参数对膜结构的影响。结果表明:直流磁控溅射组装均质Cu-W薄膜时,钨是以β-钨为骨架固溶进部分铜的方式存在;随铜靶功率的增加,铜的晶粒尺寸先变大后变小;随钨靶功率的增大,β-钨有向非晶态转变的趋势,且铜的晶粒尺寸会明显变小;薄膜的沉积速率主要由钨靶功率决定;工作气体氩气气压低于1.0 Pa时,随气压升高,铜的晶粒尺寸变小,高于1.0 Pa时,气压对薄膜结构没有影响。 展开更多
关键词 Cu—W均质薄膜 磁控溅射 晶粒尺寸 靶功率 气压
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