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适用于RF MEMS能量耦合传输的高Q值电感 被引量:5
1
作者 陈石清 +1 位作者 李修函 张海霞 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期604-606,共3页
利用MEMS微电镀工艺技术制作了一种新型的适用于RF MEMS能量耦合传输的高Q值电感,采用ANSOFT公司的HFSS优化平面螺旋电感的结构。在具有高电阻率的玻璃衬底上溅射0.5μm的铜层作为下电极;PECVD淀积厚度为1μmSiO2作为中间介质层;在介质... 利用MEMS微电镀工艺技术制作了一种新型的适用于RF MEMS能量耦合传输的高Q值电感,采用ANSOFT公司的HFSS优化平面螺旋电感的结构。在具有高电阻率的玻璃衬底上溅射0.5μm的铜层作为下电极;PECVD淀积厚度为1μmSiO2作为中间介质层;在介质层上结合厚胶光刻技术电镀厚为22μm的铜作为电感线圈。这套电感制作工艺流程简单、易于与IC制备工艺集成。本文制备的微机械电感在微型植入系统中具有广阔的应用前景。测量结果表明:当工作频率在1GHz左右时,微电感的电感值达到55nH,Q值最大可达到25。 展开更多
关键词 微电感 MEMS 能量耦合 电镀
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植入式片上系统的发展与现状 被引量:1
2
作者 胡晋彬 李修函 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期835-839,共5页
对目前国际上植入式片上系统的最新研究现状进行分析,总结了植入式生物信号检测与微电刺激系统的基本结构模型;介绍了系统的工作原理,讨论了系统实现的关键技术、存在的问题及可能的解决方法;最后,对植入式系统的发展趋势进行了展望。
关键词 植入式片上系统 生物信号检测 微电刺激系统
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压阻加速度计的Au-Si共晶键合 被引量:15
3
作者 王翔 张大成 +5 位作者 王玮 阮勇 李修函 王小保 杜先锋 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期332-336,共5页
通过将压阻加速度计上帽与结构片的键合 ( 36 5℃保温 10min) ,再进行下帽与结构片的键合 ( 380± 10℃保温2 0min) ,成功进行了三层键合 .测得的键合强度约为 2 30MPa.硅片 基体 /SiO2 /Cr/Au层和硅片之间键合时 ,SiO2 溶解而形成C... 通过将压阻加速度计上帽与结构片的键合 ( 36 5℃保温 10min) ,再进行下帽与结构片的键合 ( 380± 10℃保温2 0min) ,成功进行了三层键合 .测得的键合强度约为 2 30MPa.硅片 基体 /SiO2 /Cr/Au层和硅片之间键合时 ,SiO2 溶解而形成CrSi2 硅化物 .共晶反应因Cr层而被推迟 ,键合温度高出共晶温度 2 0℃左右 ,从而避免了由于Au元素向硅中扩入而造成的污染 ,进而避免可能造成的对集成微电子器件性能的影响 .试验还证明硅基体 SiO2 /Cr/Au/Poly Si/Au键合层结构设计模型也遵循这一键合过程中的原子扩散理论 . 展开更多
关键词 共晶键合 压阻式加速度计 封装
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Characteristics of Gas Flow within a Micro Diffuser/Nozzle Pump
4
作者 李修函 于晓梅 +4 位作者 张大成 崔海航 王颖 王阳元 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2006年第5期1230-1233,共4页
The gas flow characteristics for various shapes of micro diffuser/nozzles have been experimentally investigated. The micro diffuser/nozzles with the lengths of 70μm, 90μm, 125μm and the taper angles of 7°, 10&... The gas flow characteristics for various shapes of micro diffuser/nozzles have been experimentally investigated. The micro diffuser/nozzles with the lengths of 70μm, 90μm, 125μm and the taper angles of 7°, 10°, 14° are designed and fabricated based on silicon micromachining technology for optimizing and comparing. The flat-wall diffuser/nozzle is 40μm×5μm in depth and width. An experimental setup is designed to measure the gas flow rates under controlled temperature and pressure condition. Optimized values for the taper angle and the length of the diffuser/nozzle are experimentally obtained. 展开更多
关键词 NEWTONIAN FLUID SEDIMENTATION SIMULATION
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微型化学实验在高中化学学习中的运用 被引量:1
5
作者 刘耕硕 李修函 +1 位作者 姜俊伊 玥廷 《中国科技期刊数据库 工业A》 2016年第9期295-295,共1页
本文分析微型化学实验的特点,根据目前微型化学实验的教学现状,阐述微型化学实验在高中化学学习中的运用方式,不仅能够促进化学实验变革,还能激发学生的学习兴趣,提高学生的综合素质。
关键词 微型 化学实验 高中化学 运用
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人体能量采集与存储的研究现状与发展趋势
6
作者 梁文琼 许巍 +2 位作者 高华方 马旭 李修函 《电子世界》 2019年第1期5-9,共5页
分析了基于人体能量采集与存储的自供能系统架构,对比分析了各种能量采集技术为电子设备供电的可行性。总结了从人体获取机械能,热能及生物化学能量的能量转换原理及各自对应的能量采集器。重点分析比较了用于人体机械能采集的电磁能量... 分析了基于人体能量采集与存储的自供能系统架构,对比分析了各种能量采集技术为电子设备供电的可行性。总结了从人体获取机械能,热能及生物化学能量的能量转换原理及各自对应的能量采集器。重点分析比较了用于人体机械能采集的电磁能量采集器,静电能量采集器,压电纳米发电机及摩擦纳米发电机的输出特性,适用场合及各自的优缺点。 展开更多
关键词 能量采集 发展趋势 存储 纳米发电机 采集器 供能系统 电子设备 采集技术
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高中生计算机自主学习模式初探
7
作者 玥廷 姜俊伊 +1 位作者 李修函 刘耕硕 《中国科技期刊数据库 科研》 2016年第9期47-47,共1页
高中生计算机自主学习模式对于高中生的发展而言是至关重要的,教师必须要对其加以重视,保证能够创建良好的教学模式,优化计算机教学方式,根据高中生的年龄特征与学习特点对学生进行自主学习能力的培养,进而提高学生的学习效率,增强其学... 高中生计算机自主学习模式对于高中生的发展而言是至关重要的,教师必须要对其加以重视,保证能够创建良好的教学模式,优化计算机教学方式,根据高中生的年龄特征与学习特点对学生进行自主学习能力的培养,进而提高学生的学习效率,增强其学习能力,为高中学生计算机素养的发展奠定基础。 展开更多
关键词 高中生 计算机 自主学习模式
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面向微泵的微型扩散/收缩管的优化设计 被引量:1
8
作者 黄杰西 李修函 于晓梅 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期205-209,共5页
微型扩散/收缩泵属于无阀型微机械往复微泵,其性能可以通过优化微型扩散/收缩管的结构参数得到优化。本文利用Fluent软件模拟得到最优的微型扩散/收缩管的结构参数,并提出微型固定鳞片式扩散/收缩管结构。基于硅基MEMS技术制备微型扩散... 微型扩散/收缩泵属于无阀型微机械往复微泵,其性能可以通过优化微型扩散/收缩管的结构参数得到优化。本文利用Fluent软件模拟得到最优的微型扩散/收缩管的结构参数,并提出微型固定鳞片式扩散/收缩管结构。基于硅基MEMS技术制备微型扩散/收缩泵,并通过Fluent软件模拟和实验验证了鳞片式扩散/收缩泵可以提高流阻效率11%。 展开更多
关键词 微泵 扩散/收缩泵 扩散/收缩管 鳞片
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基于静电纺丝纳米PVDF膜的自驱动柔性复合式电子皮肤系统
9
作者 杨甲一 许巍 +4 位作者 孟妍 刘斯达 贾凌杰 陈国斌 李修函 《功能材料与器件学报》 CAS 2021年第4期315-322,共8页
电子皮肤是一种人造皮肤,通过功能材料的选择和结构设计,模拟人体皮肤的感知能力。这里设计了一种新型自驱动柔性可穿戴混合式电子皮肤系统。该电子皮肤系统将摩擦纳米发电机和压电纳米发电机高效集成,构建了可同时感知皮肤压力、位置... 电子皮肤是一种人造皮肤,通过功能材料的选择和结构设计,模拟人体皮肤的感知能力。这里设计了一种新型自驱动柔性可穿戴混合式电子皮肤系统。该电子皮肤系统将摩擦纳米发电机和压电纳米发电机高效集成,构建了可同时感知皮肤压力、位置和发电信息的柔性电子皮肤系统,可实现传感器的实时信号检测,同时具备发电功能可作为电源模块为其他设备供电。利用静电纺丝工艺,制备了高介电常数PVDF柔性纳米薄膜,提升摩擦纳米发电机的输出特性。电子皮肤整体厚度为182μm,拉伸性可达自身的130%。其输出特性中开路电压为200 V,短路电流为8μA。通过采集输出信号,输入到深度学习模块中训练,实现手势判别。此外,利用机械力输入和电输出间的线性关系,实现定位和痛觉感知功能。因此,该电子皮肤系统可用于人机交互,信号监测和智能传感等,在人工智能领域具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 电子皮肤 压电纳米发电机 摩擦纳米发电机 静电纺丝 深度学习
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Spectrum manipulation of a dual-stop-band metamaterial terahertz filter based on unit cell dimension changes
10
作者 XU Wei GUO Hai-yang +5 位作者 LI Xiu-han XU Dong-dong WEI Guo-wu LIANG Wen-qiong BI Ya-qi QIN Yong 《Optoelectronics Letters》 EI 2019年第3期174-178,共5页
We numerically and experimentally proposed a dual-stop-band terahertz filter based on standard microelectronic fabrication method. The stop bands locate at 0.32 THz and 1.02 THz with 3 dB bandwidths of 0.26 THz and 0.... We numerically and experimentally proposed a dual-stop-band terahertz filter based on standard microelectronic fabrication method. The stop bands locate at 0.32 THz and 1.02 THz with 3 dB bandwidths of 0.26 THz and 0.55 THz, respectively. The resonance characteristics of the proposed device were discussed with the help of surface current maps and field density maps extracted from computer simulation software to better understand the working principle of the proposed device. On top of that, a total of seven devices with different dimensions were fabricated to fully discuss the dimension effects on the resonant frequency shift and bandwidth changes. This fabrication process is applicable for related integrated metamaterial devices and provides essential experiment evidences for effective ways of manipulating the transmission spectrum of the proposed filter. 展开更多
关键词 Spectrum MANIPULATION of a dual-stop-band METAMATERIAL TERAHERTZ filter based on unit cell DIMENSION changes THz
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